Установка для получения покрытий и деталей
Иллюстрации
Показать всеРеферат
ac,"oe .:,.с;.ч
1ИТЕи:.. -т..,л" 1 ": ИАЯ дм, а А
НИЕ
Союз Советакик
Социалистических
Реапублии
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К ЛатО СКОМХ СВИДЕтЕЛЬСтВ
Зависимое от авт. свидетельства ¹â€”
Заявлено ОБХ.1969 (№ 1329635/22-1),Ч, Кл. С 23с 11/02 с присоединением заявки №вЂ”
Комитет по аелам изобретений и открытий ари Совете Миииатрав
СССР
Приоритет—
Опубликовано 21.111.1972. Бюллетень № 11
УДК 621.793.06 (088.8) Дата опубликования описания 2!.Ю.!972.
Авторы изобретения
Ю. H. Токаев, В. Я. Чернов, А. К. Поливенко, В. П. Абросимов и
В. В. Лепехин
Заявитель
УСТАНОВКА ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ПОКРЫТИЙ И ДЕТАЛЕЙ
ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ
Изобретение относится к области получения покрытий из газовой фазы.
Известна устаиовка для получения покрытий и деталей из газавой фазы, содержащая нспар|итель, реакционную камеру и систему нейтрализации.
Однако, в известной у.становке не обеспечивается получение стабильных по химическому составу и структуре деталей.
С целью улучшения качества и получения стабильных по химическому составу и структуре покрытий предложенная установка снабжена камерами предварительного нагрева и охлажден|ия, соединенньнми с реакционной камерой и между собой посредством вакуумных затворов, и высокотемпературной камерой для осаждения порошка металла из непрореагировавшей в реакционной камере смеои,,соединенной с реакционной каме рой через систему трубопроводов.
На фиг. 1 показана предложенная установка; на фиг. 2 — то же, испаритель, Установка состоит из испарителя 1, реакционной камеры 2, системы нейтрализации (иа чертеже не показана), камер 3 пред варительного нагрева, камер 4 охлаждения, соединенных с реакционной камерой и между собой посредством вакуумных затворов 5, высокотемпературной камеры б для осаждения порошка металла из непрореагирова вшей в реакционной камере смеои, соединенной с реакционной камерой через систему трубопроводов 7.
Испаритель. с загруженным галлоидопроиз5 водным соединением, например, гексофтор
:вольфрама, нагревается до температуры, пре;вышающей температуру кипения галлоидного соединения, в результате чего галлоидное соединение в виде пара поступает в лредвари10 тельно нагретую до 500 — . 700 С реакционную камеру. Одновременно из баллонов в реакционную камеру поступает водород. В результате взаимодействия водорода с галлоидным соединением происходит реакция выделения
15 металла на по верхности детали, поступившей через вакуумные затворы из камер предварительного нагрева в реакционную камеру, где она нагревается до температуры, ра вной внутренней температуре реакционной камеры.
20 Часть непрореагировавшей в реакционной камере газовой смеси через систему трубопроводов поступает в высокотемпературную камеру, где осаждается порошок металла из непрореагировавшей в реакционной камере
25 смеси за счет увеличения скорости,разложения соединений при повышенных температурах (1000 —.2500 С) .
Деталь с осажденным покрытием из реакционной камеры поступает в камеры для стузо пенчатого охлаждения.
333225
3 изобретения
Предмет
Составитель И. Резник
Тсхред Л. Богданова
Редактср М. Макарова
Корректор В. Жолудева
Заказ 1932 Изд. № 443 Тираж 448 Подписное
ЦНИИПИ Когиитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, 5К-35, Раушская наб. д. 4/5
Загорская типография
Установка для получения покрытий и деталей из газовой фазы, содержащая пспаритель,,реакционную 1
1 (1
Л1ф