Автомат для химической обработки

Автомат для химической обработки

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ 333633 ИЗОБЕЕтЕ Н ИЯ i

Се®е Сееетеиив

Социал иетичееки,т рееитеиии

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое or авт. свидетельства №«вЂ”

Заявлено 13.V.1965 (¹ 1007517/26-25) М.Кл. Н 0117I00 с присоединением заявки №вЂ”

П р и оритет—

Опубликовано 21 111.1972. Бюллетень № 11

Дата опубликования описания 2Х111.1972:

Ковтитет вв еелве изобретений и открытий ори Совете твиниотров

СССР

УДК 621.382.2, 3.002.2 (088.8) В. И. Захаров, 3. Ф. Конякина и В. В. Малин

Авторы изобретения

Заявитель

АВТОМАТ ДЛЯ ХИМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ

ПОЛ УПРОВОДН ИКОВЫХ П JIACTA Н

Предмет изобретения

Известен автомат для химической обработки полупрсводниковых пластин; содержащий реакционные камеры, пневматический мани пулятор переноса пластин, командоаппарат управления пневмосистемой, дифференциальную систему контроля состояния рабочего агента, привод.

Предложенный автомат отличается тем, что в нижней части реакционной камеры установлена газовая турбина, являющаяся столом для размещения единичной пластины, а в верхней части — газовая ультразвуковая туроосирена, соединенная с соплом подачи реак тива и механизмом возвратно-поступательного движения. Это улучшает качество и воспроизподимость результатов химической обработки стдельных пластин, На фиг.1показая об щийвид авто мата; на фиг. 2 изображена реакционная камера.

Автомат содержит основание 1, выдающий бункер 2, в который загружается партия пластин (стопка из 100 штук) принимающий бун кер 8. Пневматические манипуляторы 4 переносят пластину из бункера 2 сначала в реакционную камеру 5, затем в реажционную камеру б и в принимающий бункер 8. Единичная пластина кремния 7 укладывается на турби:у-стол 8 в нижней части реаиционной камеры. Турбина-стол подвешивается на струе

«,нертного газа, истекающего из дна 9 камеры

2 через центрирукиций зазор между ротором турбины и стенками камеры, Газ; подаьаемый из двух сопел 10 на лопасти турбины,:приводит ее во вращение. 3атем из сопла 11 в центре ультразвуковой сирены 12 над верхней поверхностью пластин подается под давлением реактив. При вращении турбины пластина кремния, смещаясь под действием центробежных сил относитель

10 |но центра вращен ия, упирается в штифты 13.

Сопло 11 связано с механизмом воз вратнопоступательного перемещения 14.

При вращении пластины и передвижения сопла происходит быстрая смена реактива, l5 повышаются качество и воспроизводимость результатов .химической обработки. ро Автомат для химической обработки полупроводниковых пластин, содержащий реакционные камеры, пневматический манипулятор переноса пластин, командоаппарат управления пневмосистемой, дифференциальную сис25 тему контроля состояния рабочего агента, привод, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества и воспроизводимости результатов химической обработки отдельных пла стин, в нижней части реакционной камеры установлена газовая турбина, являющаяся сТо333633

Qua t

1 (Фиг.2

ЦНИИПИ

Изд. № 439

Подписное

Заказ 2069

Тираж 448

Загорская типография лом для размещения единичной пластины, а в верхней части — газовая ультразвуковая турбоснрена,-"соединенная с соплом подачи реактива и механизмом 6:звратно-ноступа тельного движения.