Многоступенчатый турбомолекулярный вакуумный насос

Многоступенчатый турбомолекулярный вакуумный насос

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

О П И C А Н И Е 335443

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 19 111.1970 (№ 1417900/24-6) М. Кл. F 04d 19/04 с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 11.1V,1972. Бюллетень № 13

Дата опубликования описания 2.VI.1972

Комитет по делам изооретеиий и открытий ори Совете Министров

СССР

УДК 621.527.8 (088.8) Авторы изобретения

В. И. Кузнецов, Л. Б. Леонов, Б. В. Иванов и И. Д. Анохин

ЕСФ ФИФЗуеля

ВАТА Кз -Тяящщду бттбл

Заявитель

МНОГОСТУПЕНЧАТЫЙ ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ

ВАКУУМНЫЙ НАСОС

Изобретение относится к технике получения вакуума.

Известны многоступенчатые турбомолекулярные вакуумные насосы, содержащие корпус и размещенные в нем роторные и статорные диски с рабочими элементами (лопатками, радиальными прорезями) по периферии.

Цель изобретения — повышение .степени сжатия и уменьшение обратного потока откачи ваемого газа.

Это достигается тем, что диски выполнены с проходным сечением, уменьшающимся в направлении откачки от максимально возможной величиHb! на первой ступени до минимальной, стремящейся к нулю — на последней.

На фиг. 1 показан описываемый турбомолекулярный вакуумный насос, продольный разрез; на фланг. 2 — четыре (I, II, ПI, IV) варианта расположения фрезерованных пазов на роторном диске при отношении диаметра корня лопаток (прорезей) к диаметру норв диска .0

)0,64 при угле наклона |пазов а=15 и толщине,; на фиг. 3— схематически показа но повышение да вления tmax ïðè увеличении средней окружной скорости т/,р вследствие увеличения D«» при неизменной угловой скорости; на фиг. 4— рабочие характеристики (быстрота откачки

S л/сек в зависимости от степени повышения давления т) трех роторных дисков при изменении D » и угла наклона пазов: угол наклона пазов

5 а — соответствует прямой а; при этом

Vcp = Va> Va) в, а — соответствует прямой б; при этом

1 ср = 1 б. 1 6 ) а, а — соответствует прямой в; при этом

Vap — Vâ.

Насос содержит ротор 1 с насаженными на него роторными дисками 2, между которыми расположены статорные диски 8.

Ротор закреплен в подшипниках 4 и приводится во вращение электродвигателем непосредственно или через редуктор. Откачиваемый газ поступает через фланец 5 кор пуса 6 насоса и,,разделяясь Hà д ва потока, попадает на первые ступени насоса, каждая из которых должна быть выполнена так, чтобы быстрота откачки была максимально возможной. Последующие дожимающие ступени вы норв полняются согласно выражению -1 .по

D мере увеличения давления откачиваемого газа.

Предмет изобретения

Многоступенчатый вакуумный турбомоле30 кулярный насос, содержащий корпус и раз335443 мещенные в нем роторные и статорные диски с рабочими элементами (лопатками, радиальными,прорезя ми) по периферии, отличаюи1ийся тем, что, с целью повышения степени сжатия и уменыпения обратного потока отка бм/ев

Составитель Т. Рабчук

Техред Т; Ускова Корректоры Л. Зидмлама

Редактор Н. Вирко

Заказ 1676/11 Изд. № 752 Тйраж 44о По11у1йсЫоФ

11НИИПИ Комитета по делам изобретений и открь1тий прй СдЬеч е МиЖстрбЬ СССР

Мо сква, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

;:. мф -ЪД . л з .;М - . Ы ":. ..в с ч .-;-. . чиваемого газа, дяски выполнены .с арооходным сечением, уменьшающимся в направлении откачки от максимально возможной величины на первой ступени до минимальной, стремящейся к нулю, — на последней. бпа г

Хщшч

1тасз