Полуавтомат для промывки и сушки полупроводниковых пластин

Полуавтомат для промывки и сушки полупроводниковых пластин

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

О Il И С А Н И Е 335ббО

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советсинх

"оциелистическив

Ресдублив

Зависимое от авт. свидетельства №

М. Кл. G 03d 5/00

3ая влсно 02. l l l.1970 (№ 1411178i18-10) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 11.17.1972. Бюллетень № 13

Дата опубликования описания 12.V.1972

Комитет по делон изобретений и открытий п9и Совете Мииистсое

СССР

УДК 771,435(088.8) Автор изобретения

А. А. Сенькин

3 аявитель

ПОЛУАВТОМАТ ДЛЯ ПРОМЫВКИ И СУШКИ

ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН

Изобретение относится к области полупроводникового приборостроения, в частности к технике промывки и сушки тонких пластин.

1 1звестны устройства для промывки, например, фогографических нластин, содержащие транспортер из покрытых резиной роликов, моющие щетки и узел подачи моющей жидкости. Однако эти устройства не обеспечивают обработку малогабаритных тонких полупроводниковых, пластин из кремния или германия.

Предлагаемое устройство позволяет значительно повысить производительность труда и улучшить качество обработки полупроводниковых пластин. Для этого в предлагаемый полуавтомат для промывки и сушки к цепному конвейеру прикреплены кассеты, каждая из которых представляет собой несущую ячейку в виде пластины с ушками для крепления к конвейеру со сквозным отверстием в центре с диаметром, превышающим размер обрабатываемой детали, дно которой образовано натянутыми вдоль ячейки нитями, а верхняя поверхность ее выполнена с продольными пазами, через которые пропущены натянутые нити вдоль по ходу конвейера, закрепленные на неподвижных обоймах.

На фиг. 1 изображен предлагаемый полуавтомат; на фиг. 2 — несущая ячейка полуавтомата.

Полуавтомат состоит из цепного конвейера

1 с закрепленными на нем специальными несущими ячейками (кассетами) 2 для тонких промываемых полупроводниковых пластин 3, обеспечивающих одновременную двустороншою промывку с,помощью вращающихся волосяных щеток 4 цилиндрической формы с двусторонней струйной подачей воды на промываемую тонкую пластину 3 с последующей

10 сушкой в сушильной камере 5.

Несущая тонкую промываемую пластину ячейка 2 представляет собой пластину, которая в 7 — 10 раз толще промываемой пластины 3, с ушками по бокам для крепления к

15 конвейеру 1 и со сквозным отверстием в центре с диаметром, большим, чем размеры промываемой пластины 3. Дно несущей ячейки 2 образовано натянутыми продольными тонкими нитями б, закрепленными на нижней поверх20 ности ячейки 2, на которых расположена промываемая пластина 3.

Верхняя поверхность ячейки 2 снабжена продольными пазами 7, совпадающими с направлением движения цепного конвейера 1, 25 через которые проходят натянутые .вдоль по ходу конвейера 1 в зонах промывки тонкие нити 8, закрепленные в неподвижных обоймах 9.

Сушильная камера 5 представляет собой

30 емкость, через которую проходит цепной кон335660

10 вейер 1 с закрепленными на нем несущими ячейками 2, в которых расположены промытые тонкие пластины 8. Сушильная камера 5 снабжена нагревательным элементом. По выходе из этой камеры пластина 8 выпадает под действием собственного веса на разгрузочный транспортер и попадает в накопитель (на чертежах не показаны).

Полуавтомат работает следующим образом.

Промываемые пластины 8 загружают в несущие ячейки 2, которые по конвейеру 1 перемещаются на позицию промывки. Промывка осуществляется одновременно с двух сторон вращающимися щетками 4 в струях подающейся воды (или другой жидкости). По трубопроводам 10 через щели 11 в насадке 12 подается жидкость под углом в 30 — 45 к поверхности промываемой пластины 8 снизу и сверху. Тонкие натянутые нити 6, закрепленные на нижней поверхности несущей ячейки

2, служат ее дном.

Нити 8, входящие в пазы на верхних поверхностях несущих ячеек 2, закрепленные на неподвижных обоймах 9, перекрывают отверстия в несущих ячейках 2 сверху и предохраняют промываемую пластину от выпадания.

Время, затрачиваемое на промывку, совпадает с периодом сушки пластин.

Промытая и высушенная пластина 8 на выходе из сушильной камеры 5 подается с цепного конвейера 1 на разгрузочный транспортер, выполненный из мягкой резиновой ленты, который переносит тонкую пластину в специальную емкость — накопитель.

Предмет изобретенпя

Полуавтомат для промывки и сушки полупроводниковых пластин, содержащий цепной конвейер, моющие щетки, обойму с натянутыми нитями и сушильную камеру, отличаюи ийся тем, что, с целью повышения производительности труда и улучшения качества обработки, в нем к цепному конвейеру прикреплены кассеты, каждая из которых представляет собой несущую ячейку в виде пластины с ушками для крепления к конвейеру со сквозным отверстием в центре с диаметром, превышающим размер обрабатываемой детали, и дно которой образовано натянутыми вдоль ячейки нитями, а верхняя поверхность ее выполнена с продольными пазами, через которые пропущены натянутые нити вдоль по ходу конвейера, закрепленные на неподвижных обоймах.

Составитель А, Массов

Техред T. Курилко

Редактор А. Корнеев

Корректор О. Волкова

Заказ 1280, 5 Изд, № 467 Тираж 448 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-З5, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2