Шлюзовое устройство для вакуумных установок

Шлюзовое устройство для вакуумных установок

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Go оз Советских

Социалнстическик

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 13Х.1970 (№ 1436553/22-1) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 05.V,1972. Бюллетень ¹ 15

М. Кл. С 23с 13/08 комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

CCCP

УДК 621.793.14.002.52. (088.8) Дата опубликования описания 31 V.1972 виьлио : !!!

Авторы изобретения

Ю. А. Екимов и П. И, Бахур

Заявитель

Специальное конструкторское бюро вакуумных покрытий

ШЛЮЗОВОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВАКУУМНЫХ УСТАНОВОК

Изобретение касается техни!ки .нанесения покрытий в вакууме.

Известно шлюзовое устройство лля вакуумных установок, содержащее корпус, в пазах которого смонтированы шлюзовые ролики.

Однако B известном устройстве при пропускании !в:ва!куумную камеру обрабатываемого материала необходимо создавать прижимные устройства для уплотнения роликами мест, не занятых пропус!каемыв» материалом.

Цель изобретения — создание устройства с возможностью регулирования силы прижатия роликов в зависимости от толщины пропускае мого материала.

Это достигается тем, что ролики выполнены !в виде вала с оболочкой из эласгичного материала, отстоящей от его поверхности на расстоянии, не ме!нее толщины пропус!каемого материала, причем полость оболочки сообщена через отверстия в валу с регулятором давления, На фнг. 1 изображено предлагаемое устройство, общий вид; на фпг. 2 — то же, поперечный разрез. Шлюзовые ролики 1 и 2 смонтированы в пазах корпуса . Один нз роликов 2 выполнен в !виде вала с оболочкой 4 из эластичного материала, отстоящей от его поверхности на расстоянии, .не менее толщины пропускаемого материала, причем .полость

6 оболочки 4 сообщена через отверстия 6 и 7 в валу с регулятором да вления (на черт. не показан). Ролик 8, !выполненный из любого твердого материала, постоян»о прижат к ролп ку 2, тем самым исключая натекание меж5 ду роликами. Зазоры 9 и 10, образующиеся в пазах корпуса, выполнены такими, что .натекание в область высокого вакуума сведено к минимуму. Торцовые части уплот!нительных роликов уплотнены вакуумньп| антифрикци10 онпым материалом 11.

Материал, подлежащий металлизации, поступает в область высокого вакуума через плотно прилегающие один к другому ролики

1 и 2. В зависимости от толщины пропускае15 мого материала 12 оболочка 4 деформируется па требуемую, величину таким образом, что ее деформация происходит по ширине пропускаемого материала 12. В местах, не занятых пропускаемым материалом, ролики 1 и 2

20 плотно прилегают олин к другому, препятствуя перетеканию воздуха в область высокого вакуума. В случае изменения толщины пропускаемого материала через отверстия 6 и 7 в полость 6 на пускается илп откачивается воз25 лу.;, что ведет к увеличению пли ослаблению прпжатия ролика 2 к ро",èêàì 1 и 8.

Предмет изооретения

Шлюзовое устройство,лля вакуумны: устаЗО новок, содержащее корпус, в,пазах которого

337447

Составитель И. Резник

Техред 3. Тараненко

Редактор А. Купрякова

Коррекгор В. )Колудева

Заказ 1476, 5 Изд. № 624 Тира>к 448 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий прн Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская паб., д. 4,5

Типография, пр. Сапунова, 2 смонтированы шлюзовые ролики, отлича ои ееся тем, что, с целью регулирования силы прижатия pOJIHKQIB в зависимости от толгцины пропускаемого материала, ролики, выполнены в ви де вала с оболоч кой из эластичного материала, отстоя1це11 от "го поверкности на расстоянии, нс менее толгцнн»1 пропускаемого матерналн, причем полость оболочки сообц,сна ерез отверстия в валу с регулятором

5 давления.