Способ автол1атического регулирования процесса бестигельной зонной плавкивсесоюзнаяпа;-[||тно-т[х«гес1библиотека

Способ автол1атического регулирования процесса бестигельной зонной плавкивсесоюзнаяпа;-[||тно-т[х«гес1библиотека

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

О П И С А Н И Е 338247

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 09.I II.1970 (№ 1412723/23-26) с присоединением заявки ¹

Приоритет

Опубликовано 15.Ч.1972. Бюллетень № 16

Дата опубликования описания 7.VI.1972

М. Кл. В Olj 17/10

Н 05Ь 5/04

G 054 23/00

Комитет по делан изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 669:621.785,545.4:

:66.045.2 (088.8) Авторы изобретения

В. В. Каратаев, Р. С. Кулагин, H. П. Смирнов, А. С. Булаев, И. Л. Шендерович и А. Я. Збарский

Государственный научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности

Заявитель

СПОСОБ АBTOMATÈ×EÑÊÎÃÎ

ПРОЦЕССА БЕСТИГЕЛЬНОЙ 3

Предмет изобретения

Изобретение относится к производству полупроводниковых материалов, В известных способах автоматического регулирования процесса бестигельной зонной плавки в качестве регулируемого параметра используется ток илп напряжение на плавильном индукторе с воздействием на управляющий орган лампового генератора с точностью 0,2%. При этом колебания температуры в расплавленной зоне составляют +-5 C. Такая точность поддержания темпер атуры не удовлетворяет требованиям производства монокристаллов с заданными свойствами.

Целью изобретения является повышение точности поддержания температуры расплавленной зоны.

Это достигается тем, что в качестве стабилизируемого параметра используют температуру индикатора, отражающего изменение температуры расплавленной зоны. Чертеж поясняет предлагаемый способ.

На токоведущем проводе 1 плавильного и дуктора 2 устанавливают индикатор 8, отражающий изменение температуры расплавленной зоны 4, и стабилизируют температуру индикатор а.

В стержне полупроводникового материала

5 создается расплавленная зона, при этом токами высокой частоты разогревается рабочее тело индикатора 8. Термоэлектродвижущая сила, возникающая в горячем спае одной из термопар б поступает на показывающий приоор 7 для измерения абсолютного значения температуры индикатора 3. Термоэлектродвпжущая сила, возникающая в горячем спае другой термопары 8 является регулирующим сигналом и поступает в систему 9 автоматического регулирования лампового генератора

10. С изменением температуры нагрева ин10 днкатора 8 изменяется режим работы лампового генератора 10, а, следовательно, и температура нагрева расплавленной зоны 4.

При использовании предлагаемого способа регулирования удается стабилизировать тем15 пер атуру индикатора, отраж ающего темпер атуру расплавленной зоны в процессе бестнгельной зонной плавки арсенида галлия с точностью +-0,5 С. При этом колебания температуры в расплавленной зоне не превышали

20 +-0,1 С.

25 Способ автоматического регулирования процесса бестигельной зонной плавки с индукционным нагревом расплавленной зоны пуlем стаоилизации режима работы генератора, отличающийся тем, что, с целью повышения

30 точности поддержания температуры расплав338247 отражающую изменение температуры расплавленной зоны.

Составитель В. Лейбович

Техред Е. Борисова

Редактор E. Левина

Заказ 1639/11 Изд, № 714 Тираж 448 Г1одпп снос

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, К-35, Раугпская паб., д. 4,5

Типография, пр. Сапунова, ленной зоны, в качестве стабилизируемого параметра используют температуру индикатора, Корректоры: В. Петрова и Е. Ласточкина