Патент ссср 338563
Патент 338563
Классы МПК
Патент ссср 338563
Иллюстрации
Реферат
338563
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Фома Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 26.Ч1.1970 (№ 1452357/22-1) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 15.Ч.1972. Бюллетень № 16
Дата опубликования описания 9.VI.1972
М. Кл. С 23с 13/08
Комитет по делам иаобретвиий и открытий при Совете Мииистров
СССР
УДК 621.793.14.002.52 (088.8) Автор изобретения
И ...."...,-. -",- - (..
1 нблио;-,;-з
Е. Д. Пронин
Заявитель
НАТЕКАТЕЛЬ ДЛЯ ВАКУУМНЫХ КАМЕР
Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме.
Известный натекатель для вакуумных камер, содержащий капилляр, не обеспечивает плавную регулировку поступления газа в камеруу.
Цель изобретения — обеспечение плавной регулировки поступления газа в камеру — достигается тем, что капилляр закрыт мембраной, снабженной электромагнитом.
На чертеже изображен натекатель, общий вид.
Натекатель состоит из капилляра 1, закрытого мембраной 2, снабженной электромагнитом 8. При подаче тока в обмотку электромагнита мембрана начинает колебаться, вследствие чего капилляр 1 периодически с частотой тока открывается. Объем подаваемой порции газа зависит от частоты и амплитуды тока, проходящего через обмотку электромагнита. Винт 4 служит для поджатия пружины 5, меняющей жесткость мембраны. Изменение жесткости мембраны влияет на производительность натекания. Натекатель крепится к стенке камеры б при помощи втулки 7 через резиновое уплотнение 8.
Предмет изобретения
Натекатель для вакуумных камер, содержащий капилляр, отличающийся тем, что, с целью обеспечения возможности плавной регулировки поступления газа в камеру, капилляр закрыт мембраной, снабженной электромагнитом.
338563
Составитель И. Резник
Техред А. Камышникова Корректор T. Китаева
Редактор Г. Бялобжеская
Заказ 1644/8 Изд. № 703 Тираж 448 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2