Устройство для подгонки величины сопротивления тонкопленочных резисторов

Устройство для подгонки величины сопротивления тонкопленочных резисторов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

О П И С А Н И Е 338923

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

М. Кл. Н Оlс 17/00

Заявлено 10.1Ч.1970 (№ 1427179/26-9) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 15.Ч.1972. Бюллетень № 16

Дата опубликования описания 13.Ч1.1972

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 621.316.824(088.8) Авторы изобретения

Д. П. Колесников, 1О. E. Орешков и В, Г. Дубровский

Заявитель ЩД тО 1 - т

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОДГОНКИ ВЕЛИЧИНЫ СОПРОТИВЛЕНИЯ

ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ РЕЗИСТОРОВ

Предмет изобретения

Известно устройство для подгонки величины сопротивления тонкопленочных резисторов, содержащее генератор высокой частоты, рабочий электрод и блок контроля.

Цель изобретения — повышение точности подгонки величины сопротивления резисторов при их изготовлении. Достигается она тем, что в предлагаемом устройстве вблизи рабочего электрода расположен дополнительный электрод с зазором, обеспечивающим развязку рабочей .и поджигающей цепей. Кроме того, в него введен импульсный трансформатор, один конец обмотки которого соединен с дополнительным электродом, а другой — с контактной площадкой резистора.

На чертеже показано предлагаемое устройство.

Устройство состоит из рабочего электрода 1, дополнительного электрода 2 и контактных площадок 8. На клеммы 4 подается напряжение от генератора ВЧ, на клеммы б — синхронное с ним поджигающее напряжение с обмотки импульсного трансформатора. Между электродом 1 и регистром б оставлен зазор о>, между электродами 1 и 2 — зазор бз.

Принцип работы устройства состоит в следующем.

Импульс поджигающего напряжения, прикладываемый к зазорам 6 и бз, создает в них дополнительное поле высокой напряженности, при этом величину бз выбирают таким образом, чтобы цепь поджига не влияла .на рабочую цепь, что обусловливает возникновение плазмы только в рабочей цепи.

Длительность импульса поджига должна быть существенно меньше длительности рабо10 чего импульса.

15 Устройство для подгонки величины сопротивления тонкопленочных резисторов, содержащее генератор высокой частоты, рабочий электрод и блок контроля, отличающееся тем, что, с целью повышения точности подгонки

20 величины сопротивления, оно снабжено дополнительным электродом, расположенным вблизи рабочего электрода с зазором, обеспечивающим развязку рабочей и поджигающей цепей, и импульсным трансформатором, один

25 конец обмотки которого соединен с дополнительным электродом, а другой — с контактной площадкой резистора.

338923

Составитель Е. Чуркин

Техред Л. Богданова

Коррекгор Е. Михеева

Редактор Б. Федотов

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 1753/Э Изд. № 659 Тираж 448 Подписное

11НИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, K-35, Раушская,наб., д. 4j5