Всесо ознаяnattiiviio ;j;i=r;;l.hajiбчблио :f;i4a

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

341741

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социзлистплес:t;ux

Республик

Зависимое от авт. свидетельства У

Заявлено 11 V.1970 (Ko 1437183/28-12) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 14.VI.1972. Бюллетень Х 19

Дата опубликования описания 7ХП.1972

М. Кл. В 65h 75/16

Комитет Il0 делом изобретеиий и открытий при Совете слииистров

СССР

УДК 621.797(088.8) Авторы изобретения

П. H. Маслен

Заявитель

КОМПЛЕКТ ДЛЯ ХРАНЕНИЯ И ТРАНСПОРТИРОВКИ

СВЕТОЧУВС1 ВИТЕЛЬНЬ1Х ЭЛЕМЕНТОВ

Изобретение относится к полупроводниковой промышленности и предназначено для хранения и транспортировки кассет со светочувствительными элементами.

Известен комплект для хранения и транспортировки светочувствительных элементов, состоящий из контейнера и кассет, причем контейнер выполнен в виде ящика с крышкой, куда укладываются кассеты с поперечными пазами, в которых экспонируемые пластины располагаются вертикально.

В процессе разгрузки кассет из контейнера на рабочее место возможна засветка светочувствительных пластин, подача которых непосредственно на операцию экспонирования осуществляется с помощью пинцета. При этом наблюдаются механические повреждения фоторезиста. Кроме того, в процессе проведения технологических операций необходима перегрузка кассет из одного контейнера в другой, что требует дополнительных комплектов на рабочем месте.

Целью изобретения — устранение указанных недостатков — достигается за счет того, что контейнер выполнен разъемным в виде двух взаимозаменяемых лотков.

На фиг. 1 изображен предлагаемый комплект, общий вид; на фиг. 2 — комплект во время рабочей операции.

Комплект включает в себя контейнер, состоящий из двух лотков 1 и 2 и кассет 8.

Каждый лоток снабжен ручкой 4 и четырьмя ножками 5, прикрепленными к внешней стороне днища для первого лотка и крышки для второго лотка. Кассеты имеют гнездо б для светочувствительных пластин и светозащитную крышку 7.

Кассеты с пластинами устанавливаются в один из лотков контейнера. Затем они закрываются другим лотком, служащим крышкой.

В таком виде контейнер транспортируется на рабочее место.

На рабочем месте лотки размыкаются и верхний лоток устанавливается на ножки рядом с нижним. Кассеты с пластинами поочередно подают на технологическую операцию (экспонирование), после выполнения которой кассеты с нижнего лотка перекладывают в свободный бывший верхний лоток.

20 Вновь собранный контейнер транспортируется на следующую технологическую операцию.

Предмет изобретения

Комплект для хранения и транспортировки

2s светочувствительных элементов, состоящий из контейнера и кассет, отличающийся тем, что, с целью повышения удобства в работе и исключения засветки светочувствительных элементов, контейнер выполнен разъемным в

Зо виде двух взаимозаменяемых лотков.