Шлюзовое устройство для ввода и вывода изделий

Шлюзовое устройство для ввода и вывода изделий

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

О П И С А Н И Е 34I877

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено ОЗ.XI 1.1968 (№ 1287307/22-1) с присоединением заявки №

Приоритет

М. Кл. С 23с 13/08

Комитет по делам изобретений и открытий ори Совете Министров, СССР

Опубликовано 14.Ч1.1972. Бюллетень № 19

Дата опубликования описания 3.VII.1972 — УДК 621.733.14.002.52 (088.8) I

О . 1

5 : ;..1 сA

БИБЛ(, У .:-.;, .

П. И. Бахур и Ю; А. Екимов

Авторы изобретения

Специальное конструкторское бюро вакуумных покрытий при Госплане Латвийской ССР .

Заявитель

ШЛЮЗОВОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВВОДА И ВЫВОДА ИЗДЕЛИЙ

В ВАКУУМНУЮ КАМЕРУ

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме.

Известно шлюзовое устройство для ввода и вывода изделий в вакуумную камеру с загрузочным механизмом. Однако в этом устройстве изделие вводится в камеру с помощью двух поршней, проходящих последовательно при своем движении отсасывающие патрубки со ступенчатопонижающимся давлением, что приводит к низкой производительности.

Цель изобретения — увеличение производительности.

На фиг. 1 представлено предложенное устройство, общий вид; на фиг. 2 — то же, поперечный разрез.

Устройство содержит загрузочный механизм, выполненный в виде заключенного в вакуумплотный корпус 1 ротора 2 с расположенными ото окружности гнездами 8 для загрузки изделий.,По окружности корпуса имеются отверстия с патрубками 4, отходящими к вакуумным насосам, а также отверстие к буякеру 5. Вал б ротора 2 выведен из корпуса 1 через механический вакуумный ввод 7.

Ротор 2 помещен в коротус 1 с зазорами по торцам и окружности, обеспечивающими минимальное натекание из области низкого вакуума в область высокого вакуума.

Из бункера 5 изделия попадают в гнезда 8 ротора. При вращении ротора 2 ,последний подводит загрузочное гнездо 8 последовательно к каждому из отсасывающих

5 со ступенчато понижающимся давлением патрубков 4, а затем подает изделия в вакуумную камеру. Освободившееся от изделий гнездо в обратной последовательности проходит мимо патрубков 4, с помощью которых

10 давление в гнезде 8 ступенчато повышается.

Подойдя к бункеру 5, гнездо 8 загружается снова, и процесс передачи изделий в вакуумную камеру повторяется. Так как ротор имеет несколько гнезд 8, то за время одного оборо15 та половина гнезд постоянно заполнена изделиями, которые периодически поступают в камеру, а освободившиеся гнезда загружают снова.

20 Предмет изобретения

Шлюзовое устройство для ввода и вывода изделий в вакуумную камеру с загрузочным механизмом, отличающееся тем, что, с целью

25 увеличения производительности, загрузочный механизм выполнен в виде заключенного в вакуумплотный корпус ротора с расположенными по окружности гнездами для загрузки изделий.

341877

Фиг 1

Редактор О. Филиппова

:-аказ 2008/15 Изд. 843 Тираж 406 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Я-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

Составитель И. Резник

Техред Т. Ускова

Корректоры: Е. Давыдкина и В. Петрова