Всесоюзная iп д-ггут!''! t-vhs'ljs'' !?' :';tия i lu 1 ;ш-1 г;лjsи :<:;.• ifi/iitt библиотекатравитель
Патент 342249
Классы МПК
Всесоюзная iп д-ггут!''! t-vhs'ljs'' !?' :';tия i lu 1 ;ш-1 г;лjsи :<:;.• ifi/iitt библиотекатравитель
Иллюстрации
Реферат
342249
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союэ Соеетских
Сониалистииеских
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 23.Ч.1969 (№ 1334992/26-25) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 14.VI.1972. Бюллстень № 19
Дата опубликования описания 02Л 111.1972
М. Кл. Н 01/ 7/50
Комитет по. делам изобретений и открытий при Соеете Министраэ
СССР
УДК 621.382.002(088,8) Авторы изобретения
Л. А. Лаукманис и И, А. Фелтынь
Физико-энергетический институт АН Латвийской ССР
Заявитель
BCFCQ:"О21-1А"
,Д ДИЦ- г1-,Р, ТРАВ ИТЕЛЪ
Изобретение относится к способам выявления кристаллографических несовершенств на поверхности монокристаллических полупроводниковых материалов. Оно может быть использовано для определения этих несовершенств на разных технологических стадиях создания активных элементов в промышленности полупроводников, в том случае когда применяются паро-газовые среды (например, при эпитаксиальном наращивании) .
Известны газовые травители для полупроводников на основе водорода и хлористого водорода. Эти травители непригодны для выявления дислокаций на поверхности полупроводников.
Предложенный травитель представляет собой смесь водорода, хлористого водорода и хлора. Он позволяет выявить дислокации при высоких температурах на локальных участках поверхности, созданных, например, при помощи диэлектрических пленок Si02, ЯэМп и др.
Наилучшие результаты по выявлению дислокаций на поверхности кремния были достигнуты при применении смеси следующего состава (в об. %): водород 94,2; хлористый водород 0,8; хлор 5.
В результате воздействия описываемого травителя в течение 30 — 60 сек при температуре 1200 С на поверхности монокристаллического кремния четко выявляются дислокации.
Предмет изобретения
Травитель на основе смеси водорода и хлористого водорода, отличающийся тем, что, с целью выявления дислокаций на поверхности кремния, в его состав введен газообразный хлор, а компоненты взяты в следующем соотношении (в об. %): водород 94,2; хлористый водород 0,8; хлор 5.