Вакуумный вентиль
Патент 344196
Классы МПК
Вакуумный вентиль
Иллюстрации
Реферат
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Со@а Соавтскна
"Соцналнстнчвскн1
Республик
Зависимое от авт. свидетельства
Заявлено 20.V11.1970 (№ 1459945/25-8) с присоединением заявки, №
Пр иоритет
Опубликовано 07.V11.1972. Бюллетень № 21
Дата опубликования описания 15.VIII.1972
М. Кл. F 16k 1/,34
F 16k 11/18
F 16k 41/10
Котеитет ло делан изобретений н открытий при Совете Министров
СССР
УД К 621,646 (088.8) Авторы изобретения
Заявитель
H. С. Гринеико и А. Е, Янов
Физико-технический институт низких температур
AH Украинской ССР
ВАКУУМНЫЙ ВЕНТИЛЬ
Изобретение относится к запорной арматуре, применяемой в высоковакуумной технике.
Известны высоковакуумные вентили с перекрывающими каналы рабочей полости и полости защитного вакуума для систем сверхвысокого вакуума с двумя сильфонами клапанами, укрепленными и подвижными от самостоятельных приводов.
Предлагаемый вентиль отличается тем, что канал рабочей полости отделен от полости защитного вакуума корпусом с седлом под запорный орган клапана, расположенного соосно с каналом рабочей полости, также перекрываемым своим клапаном.
Кроме того, в вентиле установлена крьцпка герметизации полости защитного вакуума, не связанная с механизмом запирания клапанов.
Применение вакуумных вентилей позволяет в период запуска двустенной камеры производить откачку всей вакуумной системы одним насосом, предназначенным в дальнейшем для создания защитного вакуума.
На фиг. 1 изобра;кен предлагаемый вентиль в разрезе, общий вид; на фиг. 2 — схематически изображена установка вентиля на двустенной камере.
Вакуумный вентиль содержит корпус 1 с двумя фланцами и двумя седлами и клапаны 2 и 8, Корпус 1 при помощи ребер 1 соединен жестко с кожухом 5. Кожух имеет фланец для установки вентиля на камере ч патрубок для подсоединения к системе откачки, фланец с центрирующим буртиком для установки корпуса б с механизмами управления клапанами и место для установки крышки 7 герметизации. Герметизация осуществляется при помощи металлической прокладки. Вакуумная плотность при перемещении клапанов 2 и 8 обеспечивается стальными сильфонами 8 и 9. Сильфон 9 одной стороной при помощи вакуумной сварки соединен с крышкой герметизации, другой — с корпусом 10 клапана 8. Сильфон 8 одной стороной — с корпусом 10 клапана 8, другой — со штоком 11 клапана 2. Запиранпе вентиля осуществляется вдавливанием медных клапанов
2 и 8 в седла корпуса 1. Перемещение клапана 2 достигается zDIr I eHHeit штока при вращении гайки 12, перемещение клапана 8—
2о кольцом 18 при вр "ùåíèè винта 14. Кольцо тремя тягами 15 жестко соединяется с корпусом 10 клапана 8. Для уменьшения спл трения, установлены шарикоподшипники 1б и 17.
Необходимая центровка, направленность движения клапанов 2 и 8 обеспечивается направляющими штока и тяг в корпусе б, который, в свою очередь, центрируется относительно седсл корпуса 1 на кожухе.
Откачивающая система подсоедпнена к па30 трубку 18 (см. фиг, 2) при открытых клапанах 2 и 8 производит откачку всей вакуум344196 юг. / ной системы камеры в период запуска, в дальнейшем при закрытом клапане 3 производит откачку только из полости между камерами, т. е. создает защитный вакуум в двустенной камере. К патрубку 19 подсоединяется другая откачивающая система, которая производит откачку рабочего объема двустенной камеры при открытом клапане 2 и закрытом клапане 8.
Предмет изобретения
1. Вакуумный вентиль для систем сверхвысокого вакуума с двумя перекрывающими каналы рабочей полости и полости защитного вакуума клапанами, уплотненными сильфонами и подвижными от самостоятельных приводов, отличающийся тем, что, с целью получения чистоты вакуумирования, канал рабочей полости отделен от полости защитного вакуума корпусом с седлом под запорный орган клапана, расположенного соосно с каналом рабочей полости, также перекрываемым своим клапаном.
2. Вентиль по п. 1, отличающийся тем, что в нем установлена крышка герметизации полости защитного вакуума, не связанная с механизмом запирания клапанов, 344196
Фиг 2
Составитель T. Журавлева
Техред Л. Богданова
Редактор Т. Шагова
Корректор Е, Миронова
Типография, пр. Сапунова, 2
Заказ 2582;8 Изд. Kv 1096 Тираж 406 Подписное
11Н1111П1.1 Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, К-35, Раугпская наб., д. 4i5