Ультразвуковое устройство для распыления и нанесения фоторезиста на поверхность

Ультразвуковое устройство для распыления и нанесения фоторезиста на поверхность

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

О П И С А Н И Е 345977

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 25.Ч.1970 (№ 1441860/18-10) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 28.VII.1972. Бюллетень ¹ 23

Дата опубликования описания 7Х111.1972

М. Кл. В 05b 17/06

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 667.621.23(088.8) Авторы изобретения

И. И. Пискарев и В. Ф. Кириченко

Заявитель

УЛЬТРАЗВУКОВОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ РАСПЫЛЕНИЯ

И НАНЕСЕНИЯ ФОТОРЕЗИСТА НА ПОВЕРХНОСТЬ

Предмет изобретения

Изобретение может найти применение в различных отраслях промышленности для мелкодисперсного распыления неабразивных суспензий.

В известном ультразвуковом устройстве для равномерного выдувания образованных капель и создания факела с одинаковой плотностью распыления используют специальную трубу, в которую под давлением подают воздух или газ. Известные устройства не обеспечивают той дисперсности, которая необходима, чтобы нанести слой фоторезиста толо щиной 2 — 5А.

Описываемое устройство отличается от известных тем, что оно снабжено полой конусной регулирующей втулкой, укрепленной на корпусе соосно с акустическим концентратором, при этом полость втулки соединена с магистралью тяжелого газа.

Указанные отличия позволяют получить высокую дисперсность и уменьшить толщину наносимого слоя.

На чертеже изображено описываемое устройство, состоящее из магнитострикционного преобразователя 1, с которым жестко сочленен акустический концентратор 2 с внутренним каналом 3 и рабочим соплом 4. На корпус 5 навинчена полая конусная регулирующая втулка б, ограничивающая рабочее соп4. Внутренний канал 8 конического Iio«центратора 2 соединен с магистралью 7 для подачи фоторезистора, а полость между коническим концентратором 2 и корпусоAI 5

5 соединена с магистралью 8 для подачи тяжелого газа.

При подаче фоторезиста в канал 8 и заполнении тяжелым газом полости между концентратором 2 и корпусом 5 включают маг1Q нитострикционный преобразователь 1. На выходе рабочего сопла 4 под воздействием ультразвуковых колебаний происходит распыление фоторезиста, т. е. материал дисперсируется и под давлением тяжелого газа осе13 дает на пластину. Прн помощи конусной втулки б регулируют интенсивность распыления материала, изменяя зазор между рабочим соплом 4 н выходным отверстием конусной регулирующей втулки б.

Ультразвуковое устройство для распыле25 ния и нанесения фоторезиста íà поверхность, содержащее корпус, магнитострикционный преобразователь с акустическим концентратором в виде конуса с внутренним каналом, через который подается рабочий материал, 30 от.гиаатощееся тем, что, с целью получения

345977

Составитель И. Гольденберг

Редактор С. Хейфиц Техред 3. Тараиенко Корректор С. Сатагулова

Заказ 3301/18 Изд. Ж !048 Тирагк 406 Подписное

ЦИИИПИ Комитета по делам изобретений и открь|тий при Совете !инистров СССР в!оеква, Ж-35, Рву нская иаб., д. 4%

Типография, ир. Сапунова, 2 вь1сокой QllcIlBPcIIQcTII B Умень«3ен11Я TOiIU3131141 наносимого слоя, оно снабжено полой конусной регулирукпцей втулкой, укрепленной «а корпусе соосно с акустическим концентратором, при этом полость втулки соединена с магистралью тяжелого газа.