Установка для нанесения покрытий в вакууме
Патент 347366
Классы МПК
Установка для нанесения покрытий в вакууме
Иллюстрации
Реферат
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
347366
Союз Советских
Социалистических
Республик
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 31 YI I 1.1970 (№ 1475112/22-1) М. Кл. С 23с 13/08 с присоединением заявки №
Комитет по делам
Приоритет
Опубликовано 10,Ч11!.1972. Бюллетень № 24
Дата опубликования описания 1.IX.1972 изобретеиий и открытий при Совете Министров
СССР
УДК 621.793.14.002.51 (088.8) Авторы изобретения
В. В. Звягинцев, В. В. Зорин и К. Ф. Рудковский
Ордена Ленина институт кибернетики AH Украинской ССР
Заявитель
УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ
Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме.
Известна установка для нанесения покрытий в вакууме, содержащая шлюзовые камеры, соединенные с вакуумной камерой, внутри которой расположены испаритель, манипулятор с нагревателем и кассетами, кассетоприемник, расположенную снаружи вакуумной камеры магнитную систему и пульт управления.
Однако в известной установке невозможно осуществить магнитный отжиг пленок непосредственно после их осаждения.
Цель изобретения — создание такой установки, в которой возможно было бы осуществить магнитный отжиг пленок после их осаждения.
Это достигается наличием расположенного внутри вакуумной камеры между манипулятором и кассетоприемником термического блока с ячейками для кассет и с раздельно регулируемыми системами нагрева и охлаждения.
На чертеже изображена установка, общий вид.
Установка состоит из шлюзовых камер 1, соединенных с вакуумной камерой 2, внутри которой расположены испаритель 8, манипулятор 4 с нагревателем 5 и кассетами б, кассетоприемника 7, расположенной снаружи вакуумной камеры 1 магнитной системы 8 в виде катушек Гельмгольца, пульта 9 управления и расположенного внутри вакуумной камеры
1 между манипулятором 4 и кассетоприемником 7 термического блока 10 с ячейками для
s кассет и с раздельно регулируемыми системами нагрева 11 и охлаждения 12.
Очищенные подложки закладывают в кассеты б с масками требуемой конфигурации, далее через шлюзовую камеру 1 вводят в ва10 куумную камеру 2 и помещают в манипулятор 4. Затем воздух из камеры откачивают до давления около 10 лтл рт. ст., а манипулятор с подложками прогревают до требуемой температуры (280 — 350 С) и после контроля
15 скорости испарения происходит конденсация пленок на подложки, поочередно перемещаемые в кассетах из манипулятора 4 в термический блок 10, предварительно нагретый до требуемой температуры отжига, где они выдер20 живаются при заданной температуре в течении требуемого промежутка времени в присутствии ориентирующего магнитного поля.
После этого нагревательную систему отключают и включают систему 12 принудительно2s го охлаждения. Термический блок 10 быстро охлаждается и магнитный отжиг на этом заканчивается. Далее подложки с пленками из охлажденного термического блока 10 поочередно перемещают в кассетоприемник 7 и че30 рез шлюзовую камеру — наружу.
347366
Предмет изобретения
Составитель И. Резник
Техред Е. Борисова
Корректор С. Сатагулова
Редактор Е. Дайч
Заказ 2678/14 Изд. Ме 1112 Тираж 406 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, )К-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунсва, 2
Установка для нанесения покрытий в вакууме, содержащая шлюзовые камеры, соединенные с вакуумной камерой, внутри которой расположены испаритель, манипулятор с нагревателем и кассетами, кассетоприемник, расположенную снаружи вакуумной камеры магнитную систему и пульт управления, отличаюи аяся тем, что, с целью осуществления магнитного отжига пленок после их осаждения, установка снабжена расположенным внутри
S вакуумной камеры между манипулятором и кассетоприемником термическим блоком с ячейками для кассет и с раздельно регулируемыми системами нагрева и охлаждения.