Графитовый нагреватель подложек

Графитовый нагреватель подложек

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

О П

ИЗОЫЕтЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

347367

Сова Советских

Социалистических

Респуелик

Зависимое от авт. свидетельства №

М. Кл. С 23с 13!12

Заявлено 31.XII.1969 (№ 1391497/22-1) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 10.Ч1!!.1972. Бюллетень № 24

Дата опубликования описания 1.IX.1972

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 621.793.14.002..52(088.8) Авторы изобретения

А. А. Комаров и 3. М. Лерман

Заявитель

ГРАФИТОВЫЙ НАГРЕВАТЕЛЬ ПОДЛОЖЕК

Изобретение касается нанесения вакуумных покрытий.

В известном графитовом нагревателе подложек, содержащем пластину и электроды, не обеспечивается постоянная температура поверхности пластины, что снижает производительность вакуумной установки.

Цель изобретения — обеспечение постоянной температуры поверхности пластины.

Это достигается тем, что пластина соединена с электродами посредством металлических проводников, общая площадь поперечного сечения которых меньше площади поперечного сечения пластины.

На чертеже представлен предлагаемый нагреватель, общий вид.

Нагреватель состоит из пластины 1 и электродов 2, соединенных с пластиной посредством металлических проводников 8, общая площадь поперечного сечения которых меньше площади поперечного сечения пластины.

Электроды 2 зажимают в держателях токопроводов вакуумной камеры. Отношение площадей поперечных сечений пластины 1 и проводников 8 составляет 35: 1. Материал металлических проводников выбирают из расчета получения тока, необходимого для нагрева пластины 1 с учетом токового нагрева самих проводников при минимальном их сечении.

Торцы пластины 1 покрывают медью в целях

10 обеспечения жесткого соединения их с проводниками методом пайки высокотемпературным припоем.

Предмет изобретения

Графитовый нагреватель подложек, содержащий пластину и электроды, отличающийся тем, что, с целью обеспечения постоянной температуры поверхности пластины, последняя

20 соединена с электродами посредством металлических проводников, общая площадь поперечного сечения которых меньше площади поперечного сечения пластины.

347367

Составитель И. Резник

Техред Е. Борисова

Корректор С. Сатагулова

Редактор Е. Дайч

ТипогоаФия. по Гяпчнлвя 2

Заказ 2678/15 Изд. № 1112 Тираж 40б Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4 5