Установка для нанесения покрытий на стекловидные подложки из газовой фазы

Установка для нанесения покрытий на стекловидные подложки из газовой фазы

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Т

«. с,-,-, ц „.;,,г;

О П И -© -А Н-И Е

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

348644

Сов Советских

Социалистических

Рссп1блин

Зависимое от авт. свидетельства №

М. Кл, С 23с 17/00

Заявлено 20.IV.1970 (,% 1430491/22-1) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 23ХП!.1972. Бюллетень ¹ 25

Дата опубликования описания 20.IX.1972

Комитет по делам иаобретвиий и отирытий при Совете Министров

СССР

УДК 621.793.06 (088.8) Авторы изобретения

Ю. И. Гаврилов, М. К. Сымон, С. И. Матюша, H. В. Ассоров, К. К. Антонов и Б. Г. Лукин

Заявитель

УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ НА СТЕКЛОВИДНЫЕ ПОДЛОЖКИ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ

Изобретение относится к области нанесения покрытий из газовой фазы.

Известна установка для нанесения покрытий на стекловидные подложки из газовой фазы, содержащая туннельную печь. Однако в этой установке невозможно получать различные толщины покрытий на подложках разного диаметра.

Цель изобретения — получение различных толщин покрытий на подложках разного размера. Это достигается тем, что каждая секция снабжена конвейерным механизмом с индивидуальным приводом.

На фиг. 1 представлена установка, общий вид; на фиг. 2 — разрезы по А — А и Б — Б на фиг. 1; на фиг. 3 — подвеска с изделиями.

Установка состоит из туннельной печи секционного типа, секции 1 подогрева, секции 2 напыления и секции 3 охлаждения. Каждая секция снабжена конвейерным механизмом 4 с индивидуальным приводом 5.

Полозки б с подвесками 7 и изделиями 8 продвигаются роликами 9, вращающимися за счет цепей 10 конвейерного механизма от привода 5. Время нахождения подвески в секции может за счет скорости продвижения изменяться в заданном диапазоне, кроме изменения режима работы нагревателей 11, т. е. температурного режима. В секции 2 на движущиеся изделия наносится через форсунки 12 распыленный состав, образующий пленки, например токопроводящие. Время контакта изделия с распыляемым веществом может изменяться в заданном диапазоне за счет скорости передвижения изделий. В сек10 ции 3 охлаждения скорость продвижения изделий также регулируется. Таким образом, можно задавать различные соотношения скоростей вращения роликов, а следовательно и продвижение изделий, т. е. время их пребы15 вания по зонам.

Предмет изобретения

Установка для нанесения покрытий на стекловидные подложки из газовой фазы, со20 держащая туннельную печь секционного типа, отличающаяся тем, что, с целью обеспечения возможности получения на одной установке различных толщин покрытий на подложке разного размера, каждая секция снаб25 жена конвейерным механизмом с индивидуальным приводом.