Электродуговой испаритель металлов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

О П Е (ii) 349325

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОВСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 19.10.70 (21) 1479568/22-01 с присоединением заявки № (51) М. Кл. - С 23С 13/12

Государственный комитет (23) Приоритет

Совета Министров СССР (43) Опубликовано 30.03.78. Бюллетень № 12 (45) Дата опубликования описания 11.04.78 (53) УДК 621.793.12. .002.52 (088.8) llo. делам изобретений и открытий (72) Авторы изобретения

Л. П. Саблев, Ю. И. Долотов, Л. И. Гетьман, В. Н. Горбунов, Е. Г. Гольдинер, К. T. Киршфельд и В. В. Усов (71) Заявитель (54) ЭЛЕКТРОДУГОВОЙ ИСПАРИТЕЛЬ МЕТАЛЛОВ

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме.

Известен электродуговой испаритель металлов, содержащий камеру-анод, корпус из немагнитного материала, внутри которо-о имеется катод, соленоид, расположенный снаружи корпуса испарителя, и поджигающее приспособление, смонтированное на боковой стенке камеры-анода. Однако большие размеры соленоида увеличивают габариты испарителя, что увеличивает расход электроэнергии, потребляемой соленоидом.

Цель изобретения — уменьшение габаритных размеров испарителя за счет уменьшения размеров соленоида и как следствие уменьшение электрической энергии, потребляемой соленоидом. Это достигается тем, что соленоид одним концом соединен с корпусом, а другим — с камерой-анодом, причем между корпусом и камерой-анодом установлена электроизоляционная прокладка.

На чертеже изображен предлагаемый испаритель, общий вид.

Испаритель состоит из камеры-анода 1, корпуса 2 из немагнитного материала, внутри которого находится катод 3, соленоида 4, расположенного снаружи корпуса 2, и поджигаю. щего приспособления 5, смонтированного на боковой стенке камеры-анода. Соленоид одним концом соединен с корпусом 2, а другим — с камерой-анодом 1, Между корпусом и камерой-анодом установлена электроизоляционная прокладка 6.

При давлении в вакуумной камере ниже 1 °

° 10 тор. кратковременным прикосновением

5 поджигающего электрода к поверхности катода зажигается дуга. Дуга горит в парах металла при сколь угодно низком давлении остаточных газов в вакуумной камере. Для стабильного горения дуги необходимо, чтобы ка10 тодное пятно дуги находилось на рабочей поверхности катода. При нахождении катодного пятна на рабочей поверхности катода поток металлической плазмы направлен на стенки вакуумной камеры, являющейся анодом. Как

15 только катодное пятно переходит на боковую поверхность катода, поток металлической плазмы направляется в сторону корпуса испарителя, электрически связанного с анодом через катушку соленоида. В цепи соленоида

20 появляется ток.

Соленоид расположен относительно катода таким образом, чтобы силовые линии магнитного поля образовывали острый угол с боковой поверхностью катода со стороны его

25 рабочей поверхности. При появлении тока в цепи соленоида катодное пятно выталкивается магнитным полем на рабочую поверхность катода. Когда катодное пятно попадает на рабочую поверхность катода, ток в цепи солено30 ида прекращается. Поскольку при движении катодного пятна по рабочей поверхности като349325

Составитель И. Резник

Тскрсд Н. Рыбкина

Редактор О. Филиппова

Корректоры: Л. Котова и И. Федорова

Заказ 923/15 Изд. № 328 Тира>к 1198

НПО Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретсний и открытий

113035, Москва, 5j(-35, Раушская наб., д. 4/5

Подписное

Типография, пр. Сапунова, 2 да тока в цепи соленоида пет и магнитное поле отсутствует, то никаких требований к равенству значений поля по абсолютной величине в центре и на периферии катода не. пред1.является. Поэтому габариты соленоида могут быть уменьшены, Формула изобретеkIHB

Электродуговой испаритель металлов, содержащий камеру-анод, корпус из пемагнитного материала, внутри которого находится катод, соленоид, расположенный снаружи корпуса, и поджигающее приспособление, смонтированное на боковой стенке камеры-анода, 5 отличающийся тем, что, с целью уменьшения расхода электроэнергии, потребляемой соленоидом, последний одним концом соединен с корпусом, а другим — с камерой-анодом, причем между корпусом и камерой-анодом ус10 тановлена электроизоляционцая прокладка.