Способ электродугового испарения металлов

Способ электродугового испарения металлов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

О П

ИЗОБРЕТЕНИЯ (II) 349326

Союз Советских

Социалистических

Реслублик

K АВТОРСИОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (0!) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 19.10.70 (21) 1479567 22-01 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано 30.03.78. Бюллетень № 12 (45) Дата опубликования описания 03.04.78 (51) М. Кл.- С 23С 15/00

Государственный комитет

Совета Министров СССР но делам изобретений и открытий (53) УДК 621.793,12 (088.8) (72) Авторы изобретения

1О. И. Долотов, Л. П. Саблев, Л. И. Гетьман, E. Г. Гольдинер, В. Н. Горбунов, К. T. Киршфельд и В. В. Усов (71) Заявитель (54) СПОСОБ ЭЛЕКТРОДУГОВОГО ИСПАРЕНИЯ

МЕТАЛЛОВ

Формула изобретения

Изобретение относится к способам электродугового испарения металлов, например в процессах напыления металлов иа металлы и диэл сктр и ки.

Извсстс способ элсктродугового испарения металлов в магнитном поле, силовые линии которого образуют острый угол с боковой нерабочей поверхностью катода. Однако наличие постоянного магнитного поля, служащего для удержания катодного пятна на рабочей поверхности катода, в момент нахождения на ней пятна нецелесообразно и в то же время выдвигает требование к равномерности поля и его определенной направленности.

Предложенный способ стабилизирует катодное пятно дуги на рабочей поверхности катода. Способ отличается тем, что процесс осуществляют в пульсирующем магнитном поле, величина которого минимальна в момент нахождения катодного пятна на рабочей поверхности катода и максимальна в момент нахождения катодного пятна на боковой нерабочей поверхности кагода.

Элсктродуговое испарение металлов ведут в пульсирующем магнитном поле, силовые линии которого образуют острый угол с боковой поверхностью катода, с величиной минимальной в момент нахождения катодного пятна на рабочей поверхности катода и максимальной в момент нахождения катодиого пятна на боковой нерабочей поверхности катода.

Отсутствие магнитного поля в момент нахождения катодного пятна на рабочей поверхности катода устраняет направленное движение катодного пятна к периферии катода вследствие неравномерности поля. При выходе катодного

1р пятна на нерабочую поверхность катода напряженность магнитного поля увеличивают до максимального значения.

Способ электродугового испарения металлов в магнитном поле, силовые линии которого образуют острый угол с боковой нерабочей поверхностью катода, отличающийся

2р тем, что, с целью стабилизации катодного пятна дуги на рабочей поверхности катода, процесс осуществляют в пульсирующем магнитном поле, величина которого минимальна в момент нахождения катодного пятна на рабочей поверхности катода и максимальна в момент нахождения катодного пятна на боковой нерабочей поверхности катода.