Устройство для нанесения вакуумных покрына деталиnatththo- rtxhh^ifghi^h

Устройство для нанесения вакуумных покрына деталиnatththo- rtxhh^ifghi^h

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

349768

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 22.Х1.1968 (№ 1284544122-1) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 04.1Х.1972, Б1оллетень ¹ 26

Дата опубликования описания 20.ХП.1972

М. Кл. С 23с 13/08

Комитет по делам иаабретеиий и открытий при Совете Мииистров

СССР

УДК 621.793.14.002.52 (088.8) Авторы изобретения М. 3. Лутрин и О. Э. Карповиц

Заявитель Специальное конструкторское бюро вакуумных покрытий при Госплане

Латвийской ССР

Юй;10-т1--, - ЧМ

УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ВАКУУМНЫХ ПОКРЫ ИЙ "-" ÁI : 01Ò КА

НА ДЕТАЛИ

Изобретение относится к области нанесения вакуумных покрытий, Известно устройство для нанесения вакуумных покрытий на детали, содержащее камеры предварительной обработки, вакуумную камеру, в нутри которой расположены иGIlарители, откачную систему и блок электрооборудования. Однако, известное устройство не обеспечивает получения равномерных покрыт.ий.

Для получения раув номерных покрытий описываемое устрой ство сна бжено камерами на паривания, вьвполненными с двойными стенками, внутренние поверхности которых имеют отверстия для прохождения паров испаряемого вещества, причем перед входом в камеру напа ривания установлен бункер — дозатор, соединенный с камерой предварительной об.работки, а вдоль камер напариван ия на наружной поверхности расположены электром авн,иты.

На чертеже представлено устройство, общий вид.

Устройство содержит камеры,предварительной обработки 1 и 2, вакуумную камеру 8, в нутри которой расположены испарители 4, откачную систему (на чертеже не показана), блок электрооборудования (на чертеже не показан) и камеры напари вания 5 и б, выпол|ненные с двойными стенками, внутренние поверхности которых имеют отверстия для прохождения паров испаряемаго вещества, причем перед входом в камеру папаривания yicтановлен бункер — дозатор 7, соединенный с

s камерой предварительной обработки 2. Вдоль камер напарпванпя 5,и 6 на наружной поверхности расположены электромагниты 8.

Каналы 9 и 10 соединяют межстеночные полости камер напарпвания 5 .и 6 с вакуумной

10 камерой 8.

Изделия, подлежащие обработке, засыпают в камеру l, которую закрывают крышкой. В камере 1 создается требуемый вакуум, после этого открывают затвор ll, и изделия

15,пересыпа ются в питающее устройство 12.

Оттуда изделия р авномерным потоком подаются в камеру 18 для очистки алектродом

l4 тлеющего разряда. Из камеры 18 изделия через питающее устройство 15 .попадают в

20 камеру 2, в которой продолжается предварительная Нх обработка перед на париванием, состоящая из нагрева и дегазации изделий и последующего охлаждения до требуемой перед напариванием температуры. Из камеры

25 2 изделия попадают в бункер 7, а из него— в камеру напаривания 5, далее — в охлаждаемую камеру 16 на ленточный транспортер

17, в бункер 18, во вторую камеру напари вания б, в камеру 19 для накопления обрабо30 таиных изделий и через шлюзовое устройст349768 во выводятся в атмосферу. Для вывода изделий в а тмосферу в промежуточной камере 20 создается вакуум, одинаковый с вакуумом в камере 19, открывается затвор 21, изделия пересы паются в,камеру 20, затвор 21 закрывается, в камеру 20 впускается воздух и открывается крышка 22.

Равномерная обработка всех изделий в камерах 18 и 2 обеопечивается соответствугощим за полнением этих камер, à TBII<»I

Веществ о для покрытия помещается в испарители 4. Так как вакуумная камера 8, канал ы 9 и 10 и межстеночные полости камер напари ва ния 5 и б представляют собой за,чк,нуты и вакуумный объем, стенки I

KBiMBp 5,и б. Обе стенки камер 5 и б изготов- ЗО лены из нем агнитного материала, так I

Выходу пара напариваемого вещества из ,камеры 5 или б через отверстие для ввода 35 изделия препятствует слой изделий, постоянно находящихся в бу»гкере 7 или 18. Слой изделий, находящигхся в устройстве 15, слу»кит ,в качестве диафрагмы, разделяющей камеры с различными степенями разрежения. Выхо- 40 ду пара напариваемого вещества из камеры

5 или б через отверстие для вывода изделий прегпятствует охлаждаемая поверхность, изготовленная ввиде вращающегося барабана

24 и расположенная под отверстием для вы- 45 вода изделия. Вращающийся барабан 24 переноеигг падающие на него изделия дальше, а его холодная 11oIIepxlIIoc71» «ловит» выходящие из камеры на 11арива ния пары напариваемого вещестьа. Для создания дополиительныгх пре- 50 град вы ходу паров гизделия на поверхности барабагга 24 прохгодят через отверстия в ряде диафрагм, разделяющих зам кнутые отсеки 25. При такой системе шлюзов чолекулы напаризаемого вещества, отражаясь от горячих стенок кагмер ы напаривания 5 или б и отсеков 25, попадают на холодную поверхность .вращающегося барабана и на ней конденси руются.

Напаривание изделий в,камере 5 или б лроис одит,во время их свободного передвижения. При свободном падении изделия время для напаривания далеко недостаточно.

Для увеличения времени пребыьа ния изделий в касмере напаривания вдоль камеры установлены электромагниты, которые создают пульсирующее электромагнитное поле.

Изделия, падающие из бункера 7 или 18 в камеру 5 или б, попадают в зону действия электромагнитного поля. Во время подачи импульса напряжения на электромагнит изделия притягиваются IK нему, а во время ос7ao7eI»IsI подаваемого на электгромагнит напряжения или паузы преобладающей силой, действующей,на изделие, является сила тяжести. Чередование:Ipcooла дающи < в данный чомент вречени сН7 электромагнитного притяжен ия и тяжести увеличивает длину пути

«парения» изделий, по сравнению со свободны м падением, à с.7å7oâàòåëüío, и время напари вания.

Регулировкой силы магнитного притяжения в момент изменения направления движения изделия можно увеличить или уменьшить смещение изделия вниз, а вместе с этим и время пребывания изделия в камере. Траектория полета изделия,в направлении от одного электромагнита к другому также имеет отклонение вниз.

Предмет изобретения

Устройство для нанесения ваиуумных покрытий на детали„содержащее камеры предварительной обработки, вакгуум ную камеру, внутри которой расположены иопарители, откачную систему и бло к электрооборудования, от гггчающееся тем, что, с целью получения равномерных покрытий, устройство онаб»xeIIo камерами напа|ривания, выполненным и ,с двойнычи стен7<ам и,, внутренние IIOBopxiHo сти которых имеют отвер стия для прохождения паров испаряем ого вещества, причем пе.ред входом в камеру напаривания установлен бункер — дозатор, соединен ный с камерой ,предварительной обрабо71ки, а вдоль камер иа паривапия на наружной поверхности рас поло»кены электромагниты.

349768

M ) с, Z2

Составитель И. Резник

Техрсд Е. Борисова

Редактор Л. Струве

Корректоры: Т. Гревцова и T. Медведева

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 4053/4 Изд. М 1201 Тн аж 406

111-1ИИПИ Комитета по, слам

Подписное а по делам нзоорстсиий и открытш при Совете Мшшстров СССР

Москва, 7К-35, Раушская наб., д. 4, 5