Способ получения изображений

Способ получения изображений

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

я, ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

349975

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Заявлено 06Х11.1970 (¹ 1457098, 26-9) М. Кл. СтЪЗЬ 15/00 с присоединением заявки №

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Приоритет

Опубликовано 04.1Х.1972. Бюллетень № 26

Дата опубликования описания 23.X.1972

УДК 535.412(088.8) Авторы изобретения

Е. В. Ивакин, С. Г. Кайбанов и Г. П. Шадурский

Заявитель

СПОСОБ ПОЛУЧ ЕН ИЯ ИЗОБРА)КЕН И Й

Изобретение относится к технологии производства элемгитов радиоаппаратуры и может быть использовано при изготовлении интегральных схем и полупроводниковых приборов.

Известны способы получения изображений, включающие операцию формирования изображений и размножения их по заданной плоскости с помощью репродукционных устройств.

Недостатки известных способов получения изображений состоят в необходимости изготовления оригинала, невозможности размножения изображений по полю за одну экспозицию без операции мультиплицирования и использовании сложных репродукционных объектов, не обеспечивающих высокое качество изображений из-за аберраций и ограниченной апертуры.

С целью исключения операции изготовления оригинала, размножения изображений по полю за одну экспозицию, исключения применения сложных репродукционных объективов по предлагаемому способу излучение когерентного источника света разделяют на несколько пучков, строят систему точечных источников света, расположенных эквидистантными рядами, пересекающимися под заданным углом, а затем все пучки сводят в плоскость изооражений, при этом регулируют интенсивность лучей в длину оптического хода.

На фиг. 1 дано устройство, реализующее предлагаемый способ получения изображений; на фиг. 2 — спектр разложения, состоящий из девяти гармоник и синтезированная этими

5 гармониками кривая.

Луч 1 когерентного источника света 2 с помощью разделительных зеркал 8, 3 ....8" и положительных линз 4, 4 ...4" разделяют на несколько пучков и строят систему точечных ис10 точников света, расположенных эквидистантными рядами, пгресекающимися под заданным углом. Система точечных источников света формируется в отверстиях 5, 5 ...5" диафрагмы б. Световые пучки, исходящие из построен15 ных точечных источников света, сводят в плоскость изображения, в которой для контроля ориентации интерференционных полос помещают стеклянную пластину 7 с координатной сеткой. Интенсивность лучей регулируется при

20 помощи поляризаторов 8, 8 ...8, вращающихся в своей плоскости и изменяющих тем самым яркость лучей. Изменение оптического пути одного луча каждой пары источников, создающих отдельную гармонику, осуществляется

25 устройствами 9, 9 ...9", представляющими собой пары стеклянных клиньев, двигающихся поступательно друг относительно друга.

Микроскоп 10 контролирует интенсивность интерференционной картины. По окончании

30 построения лобпажения, в случае необходи349975 мости его фиксации, в плоскость координатной сетки помещают светочувствительный слой 11 и экспонируют.

Совокупность изображений, которую необходимо построить, представляет собой сложную пространственную периодическую функцию интенсивности света от координат. Эту функцию можно синтезировать путем суммирования спектра простых гармонических функций тех же аргументов, набор которых может быть получен из гармонического анализа формируемого изображения. Разложение функции пространственного распределения интенсивности можно представить в виде и m

Z = /(Х, Y) = g а,,е е, k= — Iv — I где Z — интенсивность лучей, Х и Y — координаты плоскости, в которой строится изображение, А и v — порядковый номер гармоник по обеим координатам, и и т — числа гармоник, определяемые точностью воспроизводимого изобр ажения, а,, — коэффициенты, определяющие амплитуды гармоник, i=)l — 1. Этот анализ легко выполнить, так как изображения представляют собой набор простейших геометрических фигур типа линий, прямоугольников и квадратов, расположенных в прямоугольной системе координат. Каждая из гармоник формируется методом интерференции двух когерентных источников света, параметры которых определяются из гармонического анализа формируемого изображения, при этом контролируют период, яркость и положение произвольной полосы каждой гармоники относительно заданной системы координат плоскости интерференции. Период составляющих изображение гармоник определяется углом между лучами точечных источников когерентного света. Соотношение яркости источников света определяет конфигурацию изображений и устанавливается фотометрированием. Интерференционные полосы относительно системы координат сдвигаются при помощи измерения фазы гармоники и изменения длины оптического хода в од10 ном из пучков света каждой интерферирующей пары.

Если амплитуда, фаза и период гармоник соответствуют требованиям, определенным при гармоническом анализе совокупности изобра15 жений, то в плоскости создается изображение, размноженное по всей площади, охватываемой интерференцией.

Предмет изобретения

1, Способ получения изображений, включающий операцию формирования изображений, размножение сих по заданной плоскости, отличающийся тем, что, с целью исключения опе25 рации изготовления оригинала, размножения изображений по полю за одну экспозицию, исключения применения сложных репродукционных объективов, излучение когерентного источника света разделяют на несколько пучков, 30 строят систему точечных источников света, расположенных эквидистантными рядами, пересекающимися под заданным углом, а затем все пучки сводят в плоскость изображений.

2. Способ получения изображений по п. 1, 35 отличающийся тем, что регулируют интенсивность лучей и длину оптического хода.

349975

П,5а

0,25

5f, 5У, 7f, Я1, 11f, 1, 1, фиг 2

Составитель Г. Челей

Техред А. Камышиикова

Корректор А. Васильева

Редактор Т. Морозова

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 3566/2 Изд. № 1458 Тираж 406 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открыгий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5