Способ обработки селенида кадмия

Способ обработки селенида кадмия

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

354497

О П И С А Н И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советскик

Сощиалистииеских

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Заявлено 27.1 V.1970 (№ 1420193/26-25) М. Кл. Н 0117/62 йавтитат Ао ревам иаааретений и открытий ари Совете Министров

СССР

УДК 621.382.002 (088.8) Опубликовано 09.Х.1972. Бюллетень № 30

Дата опубликования описания 15.Х1.1972

Авторы изобретения

Н. E. Заев и P. П. Кузьмина

Заявитель

СПОСОБ ОБРАБОТКИ СЕДЕНИДА КАДМИЯ мия. В итоге повышается воспроизводимость процесса вакуумного напыления обработанного материала.

Например, порошок селенида кадмия марки

МРТУ 6-09-281"-66, после хранения на свету при комнатных условиях, засыпают в кварцевую ампулу, ампулу запаивают ti помещают в среду жидкого азота на время, достаточное для достижения материалом температуры жидкого азота, зятем ампулу вынимают на воздух, дают прогреться до комнатной температуры и проводят следующий цикл. Процесс обработки состоит пз 15 — 25 циклов.

Восстановление первоначальных свойств селенида кадмия приводит к улучшению воспроизводимости процесса нанесения пленок и K уменьше;ппо расхода этого материала.

Способ обработки селенида кадмия путем термоцпклироваппя, отличающийся тем, что, с целью восстановления утерянных в результате длительного хранения технологических свойств, селенид кадмия подвергают многократному термоцпклированию, например 15—

25 циклов, от комнатной температуры до температуры жидкого азота. с присоединением заявки №

Приоритет

Изобретение относится к способу обработки селепида кадмия. Предлагаемый способ позволяет восстановить утерянные в результате длительного хранения технологические свойства селенида кадмия (способность к вакуумному напылению) и может быть использован при производстве полупроводниковых приборов, преи муществен но фотоэлектрических.

Известен способ обработки некоторых полупроводниковых соединений путем циклическо- 10

ro воздействия температур (термоциклирования) от комнатной температуры и выше. Известный способ не позволяет восстановить технологические свойства селенида кадмия, утерянные им в результате хранения.

Цель данного изобретения заключается в восстановлении первоначальных технологических свойств (способности к высококачественному вакуумному напылению) селенида кадмия, 20

Поставленную цель достигают путем многократной обработки порошкообразного селенида кадмия термоциклированиеM от комнатной температуры до температуры жидкого азота.

В результате воздействия термоударов разрушаются появившиеся в результате длительного хранения макрообразования (крупные полимерные состояния) в материале селенида кадПредмет ызобретения