Способ получения стеклянной пленки на подложке

Способ получения стеклянной пленки на подложке

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

355Ц4

О П И С А Н И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 15.II.1971 (№ 1629522/29-33) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 16.Х.1972. Бюллетень № 31

Дата опубликования описания 21.XI.1972

М. Кл. С 03с 17/00

С 23с 13/04

Квинтет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 666 1 053 055 (088.8) Авторы изобретения

Э. А. Лебедев, Ю. Г. Замотайлов, А. И. Черныш0в.. и К. А. Лаврентьев ВСЕСОЮЗНАЯ

ПАТЕНТ..., ...ЧЕС1 -АЯ библиотека МЬА

Заявитель

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ СТЕКЛЯ ННОЙ ПЛЕНКИ

НА ПОДЛО)ККЕ

1„

Изобретение относится к технике получения тонких стеклянных пленок и может быть использова|но в приборостроении.

Известен способ получения стеклянных пленок на подложке, заключающийся в смешении 5 с органическим растворителем стеклообразующих окислов, нанесении на подложку с последующим нагревом до температуры размягчения.

С целью повышения качества покрытий 10 стеклообразующие компоненты используют в виде чистых элементов, которые перед напылением на подложку переводят в окислы в кислородной плазме.

На чертеже показана схема нанесения по- 15 крытий.

В корпусе 1 размещены по сфере катоды 2, 8, 4, в центре сферы находится подложка 5, Катоды выполнены из чистых элементов, например, Pb, Si, окислы которых входят в состав стекла. При помощи ионизаторов 6 кислород ионизируется. Ионы кислорода бомбардируют катоды 2, 8, 4, взаимодействуют с распыляемыми с катодов атомами, образуя на подложке 5 стекло.

Предмет изобретения

Способ получения стеклянной пленки;на подложке путем нанесения на нее стеклообразующих окислов с последующим нагревом их до температуры стеклообразования, отличаюи ийся тем, что, с целью повышения качества ,покрытии, нанесение стеклообразующих окислов осуществляют путем напыления в вакуумной камере с предварительным окислением чистых элементов в кислородной плазме.

Редактор И, Квачадзе

Составитель С. Орлова

Техред А. Камышникова

Корректоры: Т. Медведева и E. Усова

Заказ 3681/12 Изд. № 1497 Тираж 406 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2