Источник ионов

Источник ионов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОП ИСАЙИ Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 05.Х1.1970 (№ 1489777/26-25) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 16.Х.1972. Бюллетень ¹ 31

Дата опубликования описания 15.1.1973

М. Кл. С 23с 13/08

Н 01 3/38

Н Olj 37/08

Комитет по делаы изобретений и открытий ори Совете твинистрое

СССР

УДК 537.534.2(088,8)

621.793.14.002.51 (088.8) Авторы изобретения Б. Г. Беккер, В. Ф. Заболотнов, Ю. В. Заумыслов и Ю. Н. Храбров

Заявитель

ИСТОЧНИК ИОНОВ

Предмет изобретения

Изобретенеие относится к аппаратуре для ионного напыления, а также к ускорительной технике.

В известном источнике ионов, содержащем спиральный накальный катод и соосно расположенный с ним цилиндрический анод, плотность ионов в разряде мала.

Предлагаемый источник позволяет увеличить плотность ионов в разряде за счет того, что анод расположен внутри спирали катода.

На чертеже представлен предлагаемый источник, ионов, содержащий цилиндрический анод 1, спиральный накальный катод 2, вакуумную оболочку 8. Анод расположен внутри спирали катода. Ток накала катода поддерживает температуру катода 2,на определенном уровне и одновременно создает магнитное поле, требуемое для увеличения плотности ионов в плазме разряда между катодом и ано5 дом.

10 Источник ионов напылительной установки, содержащий спиральный накальный катод и расположенный соосно ему цилиндрический анод, отличаюш,ийся тем, что, с целью увеличения плотности ионов в разряде, анод распо15 ложен внутри спирали катода.

Редактор T. Орловская

Составитель Н. Соловьев

Техред Л. Богданова

Корректор О. Тюрина

Заказ 4245/10 Изд. ¹ 1815 Тираж 406 Подписное

ПНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова. 2