Способ управления газоразрядной электронно-лучевой установкой

Способ управления газоразрядной электронно-лучевой установкой

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Соо3 Советсинх

Социалистических

Республик

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

< 135697? (6l ) Дополнительное к авт. синд-ву— (22) Заявлено 3$.11Я9 (2 I ) 1381245/24-7 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (51)M. Кл.

Н 05 8 7/00

Н01 J 37/00

Государственный комитет

СССР по делам изобретений и открытий

Опубликовано 15.11.82. Бюллетень № 42 Дата опубликования описания 29.12.82 (53) УДКВ21.365..91:537.533 (088.8) (72) Авторы изобретения

:Я. Я. Удрис u B. А. Чернов (71) Заявитель (54) СПОСОБ УПРАВЛЕНИЯ ГАЗОРАЗРЯДНОБ

ЭЛЕКТРОННОЛУЧЕВОЙ УСТАНОВКОЙ

1 . Известен способ управления газоразрядной электроннолучевой установкой, содержашей гаэоразрядную пушку высоковольтного тлеюшего разряда, аттод которой находится под одним потенциалом с лучеводом, на который наложено по всей его длине продольное магнитное поле, и кол лектор для отвода электрических зарядов с обрабатываемого электронным лучом иэделия, путем управления током луча посредством изменения разнос ги потенциалов электрического поля на пути электронного луча.

Управление током луча, например, путем изменения давления в газораэрядном источнике электронов. является инер-. ционным процессом, инерционность которого определяется быстродействием регулятора давления газа ив межэлектродном пространстве источника, длиной и диаметром трубопровода, соединяюшего регулятор давления с газоразрядным пространством. Управление же специальным вспомогательным управляюшим электродом, введенным в прикатодную область разряда, связано с определенными конструктивны» ми трудностями и сложностями из- а того, что катод и управляюший электрод обычно находятся rt0a высоким напряже нием относительно земли.

В предлагаемом способе для повыше ния надежности управления и упрошения разность потенциалов изменяют как по величине, так и по поляснтости за пределами области ускорения электронного луча между анодом и коллектором.

На фиг. 1 дана схема электроннопучевой установки, управляемой по описы ваемому способу, на фиг. 2 - график зави» симости тока луча от разности потенциа лов между коллектором и анодом.

Электроннолучевая установка содер жит электронную пушку 1 на основе вьтсоковольтного тлеюшего разряда с.полым (или другой формы) анодом, лучевод 2цилиндрический канал для вывода электронного луча из газоразрядного пространства, коллектор 3, на который приходит anerr»

3560

3 ронный пучок 4 и электромагнитные катушки 5, создающие продольное соленоидальное магнитное лоле в анодной области пушки. Стенки лучевода и анод электронной пушки находятся под одним потен5 циалом и изолированы от коллектора.

Рабочая разность потенциалов прикладывается между катодом .пушки и коллектоI ром, а управляющая разность потенциалов от источника тока 6 и потенциометра

7 - между коллектором и анодом (лучеводом). Величина тока разряда зависит от концентрации ионов в прианодной плазме.

Ток электронного луча пропорционален

15 току разряда, поэтому средства управления током разряда одновременно являются и средствами управления током электронного луча.

Когда условия для исчезновения ионов из области прианодной плазмы неблаго»

20 приятны, а генерадия их в этой области интенсивна, ток разряда очень чувствителен к изменению условий, от которых зависит уход (исчезновение) ионов. Ионы

25 могут покидать плазму, уходя в сторону коллектора и в сторону катода.

При положительном потенциале коллектора относительно анода пушки (см. фиг. 2 участок a ) концентрация положитель30 ных ионов в плазме имеет максимале .ное значение, так как практически един,ственным путем исчезновения ионов из плазмы является уход их в сторону катода (уходу их на стенки лучевода препятствует продольное магнитное поле, соз- З5 даваемое катушкой 5, а уход сна коллек- тор невозможен иэ-за положительного по отношению к аноду потенциала коллек77 4 тора). На участке б имеется возможность для ухода ионов в сторону коллектора.

Кониентрадия ионов в плазме, а также ток луча падают, достигая временного насыщения на участке В .

При дальнейшем увеличении разности потенциала появляется новый источник генерации ионов в плазме - ионизация вторичными электронами, вышедшими с коллектора и ускоренными в промежутке коллектор-анод. Кониентрапия ионов в плазМе и ток электройиого луча повыша ются по мере увеличения отрицательных значений потенциала 0<ц коллекторе, т.е. энергии и ионизуюшей способности вторичных электронов (участок ).

Формула изобретения

Способ управления газоразрядной электроннолучевой установкой, содержащей гаэоразрядную пушку высоковольтного тлеющего разряда, анод которой находится под одним потендиалом с лучеводом, на кторый наложено по всей его длине продольное магнитное поле, и коллектор для отвода электрических зарядов с обрабатываемого электронным лучом иэделия, путем управления током луча посредством изменения разности потенциалов электрического поля на пути электронного луча, о т л и ч а ю ш и и с я тем, что, с целью повышения надежности и упрощения, разность потенциалов изменяют как по величине, так и по полярности за пределами области ускорения электронного луча между анодом и коллектором.

356077

Редактор E. Зубиетова Техред Е,Харитончик Корректор А. Ференц

Заказ 10444/1 Тираж 862 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4