Способ соединения стекла с металлом

Способ соединения стекла с металлом

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

357I71

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 10.1Ч.1971 (№ 1644273/29-33) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 31.Х.1972. Бюллетень № 33

Дата опубликования описания 25.1.1973

М, Кл. С 03с 27/04

Комитет ло делам иаойретений и открытий ори Совете Министров

СССР

УДК 666.1.037.5(088.8) Автор изобретения

Л. А. Кабанова

Заявитель

СПОСОБ СОЕДИНЕНИЯ СТЕКЛА С МЕТАЛЛОМ

Изобретение относится к вакуумным микроприборам и интегральным схемам.

Известен способ соединения стекла с металлом путем спаивания с предварительным остекловыванием металла.

Цель изобретения — повысить адгезию стекла к металлу, а также надежность и долговечность спая.

Достигается это тем, что на поверхность металла сначала наносят пленку титана, затем— пленку окиси кремния, после чего — слой стекла и осуществляют оплавление его, например, в инертной, восстановительной атмосфере.

В качестве атмосферы может быть применен водород или аргон.

Нанесение слоев титана и SiO производят путем последовательного напыления в вакууме. Наносят стекло методом осаждения сублимационных частиц стекла в центрифуге.

5 Предмет изобретения

Способ соединения стекла с металлом путем спаивания с предварительным остекловыванием металла, отличающийся тем, что, с целью

10 повышения адгезии стекла к металлу, а также надежности и долговечности спая, на поверхность металла сначала наносят пленку титана, затем — пленку окиси кремния, после чего — слой стекла и осуществляют оплавле15 ние его, например, в инертной, восстановительной атмосфере.