Иблиотена i
Иллюстрации
Реферат
О П И С А Н И Е 357276
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства _#_
Заявлено 07.1Х.1970 (№ 1474259/22-1) .Ч. Кл. С 23с 13 08 с присоединением заявки Ло
Приоритет
Опубликовано 3!.Х.1972. Бюллетень М 33
Дата опубликования описания 27.XI.1972
Комитет по делам изобретений и открытий ппи Совете Министров
СССР
УД К 621.793.14.002.52 (088.8) Автор изобретения
Т. A. Силис
Специальное конструкторское бюро вакуумных покрытий
Заявитель
ШЛЮЗОВОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВАКУУМНОЙ КАМЕРЫ
Предмет изобретения
Изобретение относится к нанесению вакуумных покрытий.
Известно шлюзовое устройство для вакуумной камеры, содержащее ряд камер со ступенчатым понижением давления и загрузочный механизм.
Однако в известном устройстве сложно пропускать крупногабаритные изделия.
Цель данного изобретения — создание устройства с высокой производительностью, в котором можно пропускать крупногабаритные изделия.
Предлагаемое устройство отличается тем, что загрузочный механизм выполнен в виде кассеты, по торцам которой установлены подпружиненные уплотнительные элементы, образующие вместе с кассетами отдельные подвижные вакуумируемые отсеки.
На чертеже представлен общий внд устройства.
Устройство состоит из камеры 1 со ступенчатым понижением давления и загрузочного механизма, выполненного в виде кассеты 2, по торцам которой установлены подпружиненные уплотнительные элементы 8, образующие вместе с кассетами отдельные подвижные вакуумируемые отсеки.
Кассеты 2 с изделиями 4 смонтированы на роликах 5. Соединение кассет в,цепь осуществляется с помощью зацепок б. На корпусе шлюзового устройства выполнены несколько патрубков, подключспных к вакуумным насосам:
Кассета 2 с закрепленным в ней изделием
4, предназначенным для металлизации, помещается в камеру 1. С помощью зацепок б к первой кассете присоединяется следующая и т. д., тем самым образуя непрерывную цепь.
Представляя собой отдельную подвижную
10 камеру, каждая из кассет, по мере продвижения в сторону высоковакуумной камеры, посредством ролико в 5,проходит ряд патрубков, где происходит откачка полости кассет.
Иатеканию воздуха (остаточных газов) из
15 области низкого вакуума в область с более высоким вакуумом препятствуют уплотннтельные элементы по торцам, кассет.
Таким образом изделие, предназначенное для металлизацип переносится из атмосферы
20 B область с,высоким вакуумом.
Выход кассет с изделиями из высоковакуумной камеры происходит в обратном порядке, т. е. в сторону со ступенчато повышающимся давлением.
Шлюзовое устройство,для вакуумной камеры, содержащее ряд камер со ступенчатым
30 понижениегм давления и загрузочный меха357276
Составитель Б. Либерман
Те вред Е. Борисова
Редактор Л. Лаврова
Корректоры: T. Медведева и Л. Царькова
Заказ 3838/3 Изд. № !616 Тираж 40G Подписное
Щ1ИИПИ Комитета по девам изобретений и открытий при Сосете Министров СССР
Москва, К-35, Раугиская наб., д. 4г5
Типография, пр. Сапунова, 2 низм, от,гигагощееся тем, что, с целью увели.ения производительности и обеспечения нанесения покрытия па крупяогабаритггые изделия, загрузочный механизм выполнен в виде кассеты, по торцам которой установлены подпружиненные уплотнительные элементы, образугогцие вместе с кассетами отдельные подвижные вакуумируемые отсеки.