Способ очистки подложек
Патент 358427
Классы МПК
Способ очистки подложек
Иллюстрации
Реферат
358427
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Сок}г Советских Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 06.VII.1970 (№ 1460169/22-1) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано ОЗ.XI.1972. Бюллетень № 34
Дата опубликования описания 25.1.1973
М. Кл. С 23с 13/00
Комитет I}a делом ч4вобретеииЯ и открытиЯ лри Совете сйииистров
СССР
УДК 621.793.14 (088.8) Автор изобретения
С. П. Олеськив
Заявитель
СПОСОБ ОЧИСТКИ ПОДЛОЖЕК
Изобретение относится к тех}нологии на}несения }покрытий,в:вакууме, в част}ности к с}посо бам очистки,,подложек перед на}несением покрытий.
И}звестен способ очи}стки подложек, включающий обработку поверх}ности водой. Од}нако этот способ требует,про}ведения болышого ком}плекса опера}пий по очистке, одной из ко торых я}вляется промывка.водой.
1(редложенный способ у}прощает лроцеас очистки подложек. Это до}стигается тем, что на очищаемую поверхность предварительно на}но}сят путам иопарения и конден}сации в вакуу}ме слой .вещест}ва., растворимого в воде.
Опоооб заключаются в следующем:.
Очистку, подложек перед на}несением покрытий:в ва}кууме осуществляют нанесением на поверии}ость слоя, вещества, растворимого в воде, с последующим удалением его лри обра}бо}тке по}верхности водой. Слоей }вещества, ра}ст}во}римого в }воде, .наносят на,по}верх}ность испарением и последующей ко}нденсацией }в ва}ку,уме.
}При проведении апосо}ба в ва}куум}ной камере при да}аленин не }ниже 10 — 4 мм рт; сТ. поверх}ность подложки покрьввают рав}номеро ной,пленкой толщиной 200 — 1000 А,:напри}мер, карб}оната калия, натрия или др. Нео}бходи,м}ое количество и}опаряемога вещества ра}ссчитывают ло формуле: ,1, Дг
cos x
5 где P — навеска испаряем ого вещества;
R — расстояние до подложки от испарителя; р — плотность иапаряемого вещест}ва,; я — угол наклона }плос}кости,подложки к
1р }на пра}влению молекулярного пучка;
d — толщина конденсируемого слоя.
Ко}нденсат }вместе с за}грязнением смывают с по}верхности водой, которая }после просушки
15,гото}ва к напылению тон}ко}пленоч}н}ых по}крытий. Толщину наносимово сло}я:варьируют в за висим ост и. от степени и характера за}грязнений .поверх}ности. Так, на}пример, при загрязне}нии поверхности жировыми сгтпечат}ками
20 пальце в и масля}ными,пяпнами незначитель}ной толщины, толщина пленки КоСОз должна о со}ставлять 600 — 800A. При загрязнении подложки техническим вазелином толщи}ной 0,6—
0,8 мм необходимо на}носить,пленку толщиной
25 о
20 000 A.
Смывают конденсат совместно с за}гряв не}ниями струей воды или паро}м да}вления 0.2—
1,0 атм.
358427
Предмет изобретения
Составитель Е. Кубасова
Техред Е. Борисова
Редактор О. Филиппова
Корректоры: А. Степанова и Е. Сапунова
Заказ 191/16 Изд. № 1734 Тираж 406
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, 7К-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2
С пособ очистки подложек, перед .на пылением покрытий в вакууме, в кл1очающий обработ1ку .поверхности водой, отличающийся тем, что, с целью упрощения процесса, на очищаемую пав ерхность предварителыно,наносят аутем испарения и конденсации в на кучме слой вещества, растворим ого в воде.