Электродуговой испаритель

Электродуговой испаритель

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

(»1 359977

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 18.07.70 (21) 1461607/22-1 (51) М, Кл С 23С 13, 12 с присоединением заявки №

Государственный комитет

Совета Министров СССР (23) Приоритет

Опубликовано 15.05.76. Бюллетень № 18

Дата опубликования описания 22.07.76 (53) УДК 621,793.14.002. .52 (088,8) по делам изобретений и открытий (72) Авторы изобретения

А. А. Романов и А. А. Андреев (71) Заявитель (54) ЭЛЕКТРОДУГОВОЙ ИСПАРИТЕЛЬ

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме.

Известен электродуговой испаритель, содержащий анод, испаряемый катод, экран, охватывающий нерабочую поверхность катода, и поджигающее приспособление.

Однако в известном испарителе наблюдается появление двойного дугового разряда и, как следствие, дуговой разряд между анодом и экраном, приводящий к выходу из строя испарителя.

Целью данного изобретения является повышение на дежности и устойчивости испарителя., Эта цель, достигается тем, что между экраН0М и анодом включен конденсатор.

На чертеже представлен общий вид испарителя.

Испаритель состоит из анода 1, испаряемого катода 2, экрана 3, охватывающего нерабочую поверхность катода, и поджигающего приспособления 4. Между экраном 3 и анодом 1 включен конденсатор 5. Катод 2 и экран 3 укреплены на изоляторе 6. Поджигающее приспособление 4 изолировано от корпуса испарителя изолятором 7 и соединено с анодом 1 через ограничивающее сопротивление 8. Сопротивление 8 уменьшает ток через поджигающее приспособление 4 и, следовательно, уменьшает возможность приваривания последнего к катоду.

Испаритель подключают к источнику постоянного тока. При наличии вакуума в камере кратковременным прикосновением поджигающего приспособления к катоду за>кигают вакуумную дугу, горящую в парах материала катода. Из-за наличия токов утечки экран 3 может иметь больший потенциал, И чем катод 2. Однако при сбегании катодного пятна на боковую поверхность, конденсатор

5 быстро заряжается и экран 3 получает потенциал .катода. Ток между катодом и экраном прекращается и катодное пятно на эк15 ране не возникает.

В испарителе полностью устранены переходы дуги на экран, что повышает надежность и устойчивость работы испарителя и исключает загрязнение осаждаемых пленок

20 материалом экрана.

Формула изобретения

Электродуговой испаритель, содержащий анод, испаряемый катод, экран, охзатываю25 гций нерабочую поверхность катода, и поджигающее приспособление, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью повышения надежности н устой чивости испарителя, между экраном и анодом включен конденсатор.

359977

Составитель И. Резник

Текред E. Подурушина

Корректор Е. Рошкова

Редактор В. Завтырь

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 1564/3 Изд. ¹ !435 Тираж 1068 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

1!3035, Москва, Я(-35, Раушская наб., д. 4/5