Способ изготовления проводящих пленок

Способ изготовления проводящих пленок

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

О П И СА Н И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 16Х!.1970 (№ 1449865/26-9) с присоединением заявки ¹ 1449866/26-9

Приоритет

М. Кл. H Olc 17/00

С 23с 13/02

Комитет по делам каобратвиий и открытий лри Совете Министров

СССР

УДК 621.316.84 (088.8) Опубликовано 13.Х11.1972. Бюллетень № 2 за 1973 г.

Дата опубликования описания 30.1.1973

Авторы изобретения

С. С, Бутузов, Е. В. Семенова, А. H. Сафонкин, О. Е. Бондаренко и В. И. Евсеев

Заявитель

«А . ЯЯНДЯ

q;г WA -- li, r q.Я -".: Г

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПРОВОДЯЩИХ ПЛЕНОК

Изобретение относится к области изготовления СВЧ-микросхем на основе толстых проводящих пленок.

Известны способы изготовления проводящих пленок, основанные на термическом испарении в вакууме исходного материала из тигля косвенного нагрева и осаждении его со о скоростью порядка 1000 А/сек на вращающиеся со скоростью 60 †1 об/мин без дополнительного нагрева подложки.

Однако пленки, изготовленные известными способами, имеют большую величину внутренних напряжений, что приводит к их разрушению.

С целью получения толстых пленок, например меди и алюминия, с малыми внутренними напряжениями по предлагаемому способу осаждение в вакууме пленок указанных материалов ведут со скоростью не менее, чем о

1500 А/сек на вращающиеся со скоростью

60 об/мин подложки без дополнительного нагрева при плотности потока лучистой энергии испарителя, падающей на подложки, равной не менее, чем 8 вт/си .

Сущность способа заключается в следующем.

Откачав камеру до давления 10 — — 10 млт рт. ст., производят очистку подложек ионной бомбардировкой и затем осуществляют осаждение меди, алюминия со скоростью не менее, чем 1500 А/сек на подложки без дополнительного нагрева, вращающиеся со скоростью

60 об/мин, при плотности потока лучистой энергии испарителя, падающей на подложки, не менее, чем 8 вт/см- . Испарение ведут из тиглей с косвенным нагревом, например, электронной бомбардировкой. Медь испаряют из молибденового тигля, алюминий — из тигля, выполненного на основе диборида титана— карбида титана. Для улучшения адгезии проводя цих пленок, например меди и алюминия, осаждение указанных материалов производят на подслой, выполненный, например, из титана.

Полученные пленки имеют мелкозернистую структуру и малые внутренние напряжения.

Предмет изобретения

Способ изготовления проводящих пленок, например меди, алюминия, основанный на термическом испарении в вакууме исходного материала из испарителей косвенного нагрева и осаждении его на вращающиеся со скоростью 60 об/мин подложки без дополнительного подогрева, отличающийся тем, что, с целью получения толстых пленок, например меди и алюминия, с малыми внутренними напряжениями, осаждение пленок указанных

-материалов ведут со скоростью не менее, чем о

30 1500 А/сек при плотности потока лучистой энергии пспарителя, падающей на подложки, не менее чем 8 вт/ела