Патент ссср 362517

Патент ссср 362517

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Ссоетскиз

Социалистическими

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

М. Кл. Н 05k 3/02

Заявлено 30.111.1971 (№ 1640810 26-9) с присоединением заявки №

Комитет по делам наобретеинй и открытий прн Совете Министров

СССР

Приоритет

УДК 621.3.049.75.002.5 (088.8) Опубликовано 13.XII.1972. Бюллетень ¹ 2 за 1973

Дата опубликования описания 7.II.1973

Авторы изобретения

А. В. Ворона, С. В. Пономарев и М. А. Панков

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТАКТИРОВАНИЯ В ЭЛЕКТРОЛИТЕ

Изобретение относится к технологическому оборудованию для изготовления тонкопленочных микросхем методом фотолитографии с последующим анодированием пленки в электролите.

Известно устройство для контактирования в электролите, преимущественно при производстве тонкопленочных схем, содержащее держатель и контактирующий узел, выполненный в виде заостренного штыря. Оно позволяет осуществлять контакт только за пределами электролита. В случае попадания электролита на контакт происходит его окисление, и процесс анодирования пленки прекращается.

Описываемое устройство отличается тем, что контактирующий узел расположен внутри эластичного стакана и упирается в его дно с возможностью его прокалывапия в процессе контактирования. Устройство для контактирования при анодировании обеспечивает надежный «сухой» контакт в среде электролита.

На чертеже схематически изображено описываемое устройство.

На держателе 1 с помощью оси 2 установлена колодка 3, на которой укреплен контактирующий узел 4. Узел выполнен в виде заостренного штыря н расположен внутри эластичного стакана 5.

Устройство работает следующим образом.

Подложку с анодпруемой схемой устанавливают в держатель. Под действием пружины о колодка, поворачиваясь на оси 2, прижимает контактирующий узел к контактной площадке подложки. При этом за счет деформации стакана происходит герметизация в местах контактирования, а контакт, завулканизированный в контактирующем узле, продолжая движение под действием пружины, прокалывает каучуковую перемычку на торце контактирующего узла и осуществляет контактирование с контактной площадкой подложки.

Предмет изобр етения

Устройство для контактирования в электролите, преимущественно при производстве тонкопленочных схем, содержащее держатель и контактирующий узел, выполненный в виде заостренного штыря, отличающееся тем, что, с целью повышения надежности контактирования в электролите, контактирующий узел расположен внутри эластичного стакана и упирается в его дно с возможностью прокалывания его в процессе контактирования.

362517

Редактор Л. Струве

Заказ 181/16 Изд. № 1050 Тираж 404 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Я-35, Раушская наб., к. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

Составитель Л. Рубинчик

Техред Т. Миронова

Корректоры: Л. Новожилова и Л. Бадылама