Электродуговой испаритель металлов

Электродуговой испаритель металлов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Сеюз Севетсиии

Сециаииатичвеии к

Респубиии (63) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлеио 200370 (2l) 1418068/22-01 с присоединением заявки 3th (23) Приоритет

Опубликовано 050179.бюллетень ЭЙ1

Дата опубликования описания 100179

Государственный вомнтет

СССР по делам нзобретейий н открытнй (72) Авторы изобретения

Л.П. Саблев, В.Н. Горбуков, N.È. Долотов и В.В, Усов (7!) Заявитель (54) ЭЛЕКТРОДУГОВОЙ ИСПЬРИТЕЛЬ ИЕТЛЛЛОВ

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме.

Известен электродуговой испаритель металлов, содержащий катод, анод и поджигающее приспособление.

Однако данный испаритель не обеспечивает нанесение покрытий разной толщины на различных участках покрываемой поверхности.

С целью обеспечения нанесения покрытий разной толщины на различных участках покрываемой поверхности в предлагаемом устройстве с обратной стороны рабочей поверхности катода расположен магнит, снабженный устройством для его перемещекия.

На чертеже представлен предлагаемый испаритель, общий вид.

Испаритель состоит иэ катода 1, анода 2, являющегося внутренней поверхностью вакуумной камеры, поджигающего приспособления 3 и магнита

4, расположенного с обратной стороны рабочей поверхности катода. Магнит

4 снабжен устройством 5 для его пере25 мещения.

Устройство работает следующим образом.

При низком давлении остаточных газов в вакуумной камере (ниже

ЗО

1 -10 мм рт.ст) зажигают дугу. Зажигание дуги производят кратковременным прикосновением поджигающего приспособления 3, электрически связанным с анодом, к поверхности катода 1.

Кроме того, дуга горит в парах металла катода. Так как катодное пятно вакуумной дуги стремится находиться на участках катода с максимальной икдукцией магнитного поля, то оно перемещается в район катода, находящийся под полюсом магнита. Распыление катода по любому заданному закону и получение покрытий заданной толщины на покрываемой поверхности б осуществляется соответствующим перемещением магнита. Вместе с.перемещением максимума магнитного поля на рабочей поверхности катода перемещается и катодное пятно.

Формула изобретения

Электродуговой испаритель металлов, содержащий катод, анод и поджигающее приспособление, о т л и ч а ю шийся тем, что, с целью получения покрытий разной толщины ка различных участках покрываемой поверхности, с обратной стороны рабочей поверхности катода расположак магнит, снабженный устройством для

его перемещения.

363375

Составитель И.Резник

Техред .Н.Áàáóðêà Корректор С.Шекмар

Редактор Т.Колодцева

Закае 7387/2 Тираж:ИЛУ Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета СССР по делам нэобретений и открытий

ll3035, Москва, Ж-35, Раушская.наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, г.ужгород, ул.Проектная, 4

@ каюта

Фа 8а