Способ получения беспористого покрытия корундовых подложек

Способ получения беспористого покрытия корундовых подложек

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

свес. ;o,ая

4-ая

-. г

Союз Советских

Социвлистимесних

Реснублик о и и " гН--"й-

И3ОБРЕТЕН ИЯ (l i) 363433

К АВТОРСКОМУ СВИДИТВЛЬСТВУ (61) Дополнительное к BBT. свил-ву(22) ЗаЯвлено 19.04,71(21) 1642852/26-09 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (43) Опубликовано 05 08.785юллетень №- 29 (45) Дата опубликования описания 20.06.78 (5l) М. Кл, H 05 К 1/02

С 04 В 37/04

Государственный комитет

Совете Министров СССР вв делам изобретений и открытий (53) УЙК62 1.3.049..7(088.8) (72) Авторы изобретения

В. И. Быстрова, Г. К. Кириллова и Г. A. Михайлова (71) Заявитель (54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ БЕСПОРИСТОГО ПОКРЫТИЯ

КОРУНДОВЫХ ПОДЛОЖЕК

Предлагаемый способ относится к областии микроэлектроники.

Известен способ получения беспорисгых покрытий корундавых подложек методом глазурования с последующей термообраб отк ой.

Ljenb иэобретениячтовышение рабочей температуры, сохранение теплопроводности и электрических свойств подложек.

Это достигается тем, что термообра.ботку нанесенной на подйожку при комнатной температуре глазури производят при 1400-1600оС в течение 10-15мин, после чего осуществляют двустадийное охлаждение. 15

Для получения беспористого стеклокерамического покрытия по предлагаемому способу рекомендуется следующая последовательность технолотетческих операций.

Глазурь оплавляют и растворяют поверх- 20 постный слой подложки при 1400--1600оС в течение 10-15 мин, далее ее кристаллизируют выдерживая в течение 1-2 ч при 1250-1300оС оошаждая со скоросгьео

50-70 град/ч. П оследующее охлаждение 25 до комнатной температуры производится со скоростью 30-50 град/ч. Толщина нанесенного слоя в зависимости от микро» рельефа подложки может находиться в пределах 10-60 мкм. Это не изменяет электрические свойства и геплопроводность подложек и DHD достаточно для заппавпения пор и дпя выравнивания микрорельефа подложек. Дополнительной механической обработкой, если позволяет микрорельеф подложек, получают беспористый слой толщиной 1-5 мкм. .Рабочая температура покрытия составляет 1250о С.

Корундовые подложки имеющие после механической обработки перед глаэуроваt нием чистоту поверхности не ниже v6 и пористость не более 6 %, после нанесения покрытия по предлагаемому способу и дополнительной механической обработ ки имеют чистоту беспористой поверхности не ниже V 14.

Предлагаемый способ улучшает качеств ва поверхности корундовых подложек и увеличивает выход годных- подложек и оо

363433

Составитель Е, Чуркин

Редактор д. Письман Техред А. Богдан Корректор . В. Сердюк

Закм 428Ы49 Тираж 992 II одписн ое

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР

an дедам изобретений и открытий

113035, Москва, Жг-35, Раушскаи наб., д. 4/5

Филиал ППП, "Патент, г. Ужгород, уи. Проектная, 4 нований прецизионных резисторов с содерканием корунда от 90 н 100 %.

Ф ормула из обре тенин

Способ получения беспористого покрытия корундовых подложек методом глазурования с последующей термообработкой, отличающийся reM,÷òn,с ,целью повышения рабочей температуры, сохранения теплопроводности и электричеоких свойств подложек, термообработку нанесенной на подложку при комнатной

3 температуре глазури производят при

1400-1600о С в течение 10-15 мин, после чего осуществляют двустадийное охлаждение.