Способ очистки поверхности подложки

Способ очистки поверхности подложки

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Саввта>!и>

Социал>>атичва»и» рвапуолии

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства ¹â€”

Заявлено 09.111.1971 (№ 1632431, 29-33) с присоедиие!Пнем заявки М—

П р нор>г!.е T—

Опублш;»и;l>1» 08,1.1973. 111». >. í l c»ь Лв 6

Дата опуоликоваиия описания 19.X 1.!973.

М.КЛ. С 03с 17/06

Комитет па делам иэаарвтв»и» и аткрв!тим при Саввтв 1>1иииатрав

СССР>

УГ(К 666 1 056(088 8) Авторы изобретени51

Ь. Н. Ильин и Л, К. Кривцов

Ивановский химико-технологи>1еский институт

Заявитель

СПОСОВ ОЧИСТКИ ПОВЕРХНОСТИ ПОД,ЛОЖКИ!

11зос>ретеиие относится к способу очистки

lI0.l5c,pxI10cTи подложки,,па кото>рую наносят пленку металла конденсацией его паров в высoком,вакууме.

Известны способы очистк;1 поверхност>и подложки обработкой тлеющим разрядом в атмосфере остаточны.; газов или инертпого газа.

ИЗВестиа та1,же Оч!Пстка ПОпной oolloapдирОВкой В газовом разряде.

Цель изобретеавия — улучшить очистку и

I1c>Ðý ь> си 1 ь !IдГсзи10 >мета ° Iл 1 и подло. к ке.

Достигается это тем, что оч>истку иоверх—

IIOCTII ИОДЛОЖК>И ПРОИЗВОДЯТ ИопаМИ ТОГО Же металла, который наносят на поверх>ность подлоукки копдеисацие1! еТ0 пароВ.

Очищать ионами конденсируемого металла в высоком вакууме можно lIoBBpxHocTb любой по>дло5ккп одновременно с началом кондеиcа ции его или перед ией.

110иы металла могуT I>hITh получены 110бым известным способом. Так, например, для получен:>я ионов некоторых металлов использу>от капиллярно-дуговой источник металла, 5 пзготовлеиный из тантала и графита.

Очистка поверхиост5и производится в высоком вакууме (1О .>!.!! От. ст. и менее), что сводит Дo м;1нимума адсорбцшо остато-Ill!i#

11> 10 ° > иа подлОж

11 р e:д >,I е т и 3 О I> p е т е и и 51 (llоссб 0 -1 истин ПОВОр. ;!!Ости подл05кки перед:làllecelгием па иге плеш и металла в ва-!

5 кууме путем ионной бомбардировки, отличаюи!!!!!05! тем, что, с целью улучшения очистгои 11

ПОВЬ11нен".15! адГези>I . >1еталла и подложее, Очи стку производят ионами металла, пленку котоРОГО затем !la>loc>IT Il a повер." ность под 105кк;>,