Способ изготовления фотошаблонов

Способ изготовления фотошаблонов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

366450

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советскик

Социалистическит

Реслублик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 08.11.1971 (№ 1627622!26-9) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 16.1,1973. Бюллетень ¹ 7

М. Кл. G 031 1/ОО

Комитет оо делам изобретений и открытий лри Совете Министров

СССР

УДК 655.229(088.8) Дата опубликования описания 2.III.1973

Автор изобретснн»

В. А. Григорьев

Сибирское отделение института неорганической химии AH СССР

Заявит ль

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФОТОШАБЛОИОВ

Изобретение относится к области технологии изготовления радиоэлектронных пленочных устройств.

Известен спосоо изготовления фотошаолонов, включающий на несение на поверхность подложки сплошного маскирующего слоя методом термического разложения борида металла и последующее фотолитографическое изготовление рисунка фотошаблона.

Цель изобретения — повышение износоустойчивости и качества фотошаблонов.

Она достигается тем, что сплошной маскирующий слой изготавливают из смеси борида металла и боразина.

Для этого по предлагаемому способу наносят пленки, содержащие смесь борида металла и нитрида бора, методом термического разложения на нагретой до 250 — б00 С поверхности подложки смеси паров борогидрида металла и боразина.

Основные процессы термического разложения паров борогидрида металлов (например, циркония) и боразина проходят по схеме

Zr (BH,)4 —. ZrBr + BrH, + 5H, B,N,H, — 3BNHx + УН, —. 3BN + ЗН, Смешанные слои борида металла и нитрида бора обладают высокими адгезионнымп свойствами и менее хрупки вследствие «цементации» микрогрянул борнда металла

5 ннтридом боря. Такие смешанные пленки более устойчивы к нстираншо, так как нитрид бора, имеющий структуру графита, обладает смазывающими свойствами.

10 Фотошаблоны, изготовленные по предлагаемому способу, ооладают высокими механическими свойствами.

15 Предмет изобретения

Способ изготовления фотошаблонов, включающий нанесение на поверхность подложки сплошного маскирующего слоя методом тер20 мического разложения борсодержащих соединений и последующее фотолитографическое изготовление рисунка фотошаблона, отличаюитийся тем, что, с целью повышения износоустойчивости и качества фотошаблонов, 25 сплошной маскирующий слой изготавливают из смеси борида металла и нитрида бора.