Электродуговой испаритель металлов

Электродуговой испаритель металлов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

1111 367755

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свнд-ву (22) Заявлено 17.06.70 (21) 1446488/22-1 с присоединением заявки № (51) М. Кл,- "С 23С 13/12

Совета Министров СССР по делам изабре1ений н отирытнй (53) УДК 621.793.14: 002. .52(088.8) Опубликовано 15.05.76. Б1оллетен1> № 18

Дата опубликования описания 21.07.76 (72) Авторы изобретения

А. А. Романов и А. А. Андреев (71) Заявитель (54) ЭЛЕКТРОДУГОВОЙ ИСПАРИТЕЛЬ МЕТАЛЛОВ

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме.

Известен электродуговой испаритель металлов, содержащий корпус-анод, внутри которого расположены катод, поджигающее устройство и дополнительный анод.

Однако, в таком испарителе значительная часть паров вылетает в пределах угла 0—

45 к испаряемой поверхности, т. е. испарение не подчиняется закону косинуса, что снижает экономичность испарителя из-за потерь металла в стороны, загрязняет камеру и может привести к зарастанию зазора между K?тодом и дополнительным анодом.

Целью изобретения является повышение качества покрытий и надежности работы.

Достигается это тем, что катод выполнен в виде стакана, обращенного внутренней поверхностью в сторону корпуса-анода, причем верхняя кромка катода расположена не выше верхней кромки дополнительного анода.

На чертеже представлен предлагаемый электродуговой испаритель металлов, общий вид.

Испаритель состоит из корпуса-анода 1, внутри которого расположены катод 2, поджигающее устройство 3 и дополнительный анод 4, расположенный коаксиально с катодом 2. Катод 2 выполнен в виде стакана, обращенного внутренней поверхностью в стороГосудаРственныЙ комитет (23) Приоритет ну корпуса-анода, причем верхняя кромка катода расположена не выше верхней кромки дополнительного анода 4.

После откачиванпя воздуха из камеры до высокого вакуума кратковременным прикосновением поджигающего устройства к верхней кромке катода зажигают электрическ и дугу. Катодное пятно сбегает внутрь полости катода и начинает гореть на дне стакана, ис10 паряя его. Часть испарившегося металла конденсируется на стенках стакана. Катодное пятно сразу хке переходит на этп пленки, выжигает их и возвращается на дно стакана.

Этот процесс все время повторяется. Стенки

1> стакана испаряются при этом незначительно.

Нр>, горении катодного пятна на нанесенных пленках брызги металла отсутствуют, т. е. происходит его полное испарение. Таким образом, стенки стакана способствуют более

20 полному испарению металла и препятствуют вылету паров и брызг в стороны. Наличие легкоиспаряемых пленок также приводит к стабилизации горения дуги.

Формула изобретения

Электродуговой испаритель металлов. содержащий корпус-анод, внутри которого расположены катод, поджигяющее устройство и дополнительный анод, расположенный коак30 сиЯльно с кЯтодом, 0 т л и ч а 1О 1ц и и с 11 тем, 367755

Составитель И. Резник

Техред Е. Подурушина

Корректор Е. Рошкова

Редактор Н. Спиридонова

Заказ 1564/2 Изд. Лов 1435 Тираж 1068 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 что, с целью повышения качества покрытий и надежности работы, катод выполнен в виде стакана, обращенного внутренней поверхностью в сторону корпуса-анода, причем верхняя кромка катода расположена не выше верхней кромки дополнительного анода.