Всесоюзная•1-^

Всесоюзная•1-^

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

368350

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Сспиалис;ические

Ро.".à Елик

Зависимое от авт. свидетельства М

М. Кл. С 23с 13/08

Заявлено 27.VII.1970 (№ 1465536/22-1) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 26.l.1973. Бюллетень ¹ 9

Дата опубликования описания 4.1V.1973

Комитет по делам иаооретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 621.793,14.002.51 (088.8) Авторы изобретения В. Л. Бибер, А, Б. Хейфец, Г. С. Селях, Д. Б. Зворыкин, Н. А. Колобов и А. М. Кукушкин

Заявитель

".,ЕСОЮЗНАЯ

УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме.

Известна установка для нанесения покрытий в вакууме, содержащая камеру, внутри которой расположен испаритель, и шлюзовое устройство, выполненное в виде корпуса, в отверстие которого вмонтирован паворотный шлюзовой ротор. Однако в этой установке ротор по периферии недостаточно уплотнен.

Цель изобретения — создание герметичного периферийного уплотнения ротора. Это достигается тем, что ротор выполнен из самосмазывающегося материала с кольцевыми и полукольцевыми полостями, заполненными материалом, обладающим гидростатическим свойством.

На фиг. 1 представлена установка, общий вид; на фиг. 2 — разрез по А — А на фиг. 1.

Установка состоит из камеры 1, внутри которой расположен испаритель 2, и шлюзового устройства, выполненного в виде корпуса 8, в отверстие которого вмонтирован поворотный шлюзовой ротор 4 из самосмазывающегося материала с кольцевыми и полукольцевыми полостями 5, заполненными материалом, обладающим гидростатическим свойством, например вакуумной резиной, поджимаемой со стороны торцов тарелками б и создающей под действием торцового прижима тарелок радиальное расширение поворотного шлюзового ротора и герметичное прижатие его к поверхности трения, Корпус со стороны торцов герметично уплотнен крышками 7 и 8, в которых встроены подшипники 9 и манжет5 ное уплотнение вала шлюзового ротора, соединенного с приводом поворота 10. К корпусу 8 пристыкована система промежуточной откачки 11 для создания предварительного разряжения в кармане шлюзового ротора с

10 изделием, поступающим с загрузочной позиции, находящейся в зоне с атмосферным давлением.

Изделие загружают из атмосферы через боковое отверстие корпуса в карман шлюзо15 вого ротора 4. Ротор от привода 10 поворачивается и переводит изделие на позицию промежуточнОЙ откачки 11, а затем В камеру 1.

Далее транспортным механизмом 12 изделие из кармана шлюзового ротора перемещается

20 иа позицию технологической обработки 18.

В данном случае в качестве технологической обработки показан процесс катодного распыления в среде инертного или химически активного газа (реактивное распыление), для ко25 торого наиболее эффективно применение предлагаемой полуавтоматической вакуумной шлюзовой установки в силу высокой производительности, простоты регулирования и контроля параметров процесса. Напуск заданно30 го газа происходит непрерывно через систему

368350

Предмет изобретения

8г хирн!. сог

Составп гель А. Смирнова

Техред T. Ускова

Редактор О. Филиппова

Корректоры: Н. Аук и Е. Денисова

Заказ 675/19 Изд. № 187 Тираж 826 Подписное

LIIIIII!ÏI! Комнгета но делам изобретений н открытий прп Совете Министров СССР

Москва, )К-35, Раушская наб., д. 4j5

Типограф я, нр. Сапунова, 2

3 напуска 14. Одновременно с технологической обработкой изделия идет выгрузка в атмосферу готового изделия и загрузка очередного полуфабриката в диаметрально расположенный,карман шлюзовото ротора 4.

После технологической обраоотки изделие перемещается транспортным механизмом 12 обратно в карман шлюзового ротора 4 и выводится на исходную позицию. Причем, одновременно в камеру 1 поступает очередной полуфаб рикат, ранее загруженный оператором в диаметрально расположенный карман шл,юза.

Установка для нанесения покрытий в ва«ууме, содержащая камеру, внутри которой расположен испаритель, и шлюзовое устройство, выполненное в виде корпуса, в отверстие которого вмонтирован поворотный шлюзовый ротор, отличающийся тем, что, с целью создания герметичного периферийного уплот10 нения ротора, последний вы полнен из самосма|зывающегося материала с,кольцевыми и полукольцевыми полостями, запюлненными материалом, обладающим гидростатическим свойством.