Всесоюзнаяh^trilt'"^ •••%/'>&;.' г lj&t nfittrlibu-it:x;ib-r s.^';

Всесоюзнаяh^trilt'"^ •••%/'>&;.' г lj&t nfittrlibu-it:x;ib-r s.^';

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

368777

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ПАТЕНТУ

Союз Соввтскиз

Социалистическил

Республик

Зависимый от патента №вЂ”

М. Кл. Н 011 7/50

С 23с 3/02

Заявлено 23.VIII.1967 (лЪ 1181349/22-1)

Приоритет 20.IX.1966, № 580742, США

Коеиттет по делаю иэоорвтвиий и открытий при Совете Мииистров

СССР

УДК 621.794.47:546.2 (088.8) Опубликовано 26.1.1973. Бюллетень № 9

Дата опубликования описания 24.IV.1973

Автор изобретения

Иностранец

Дональд Карл Лепиан (Соединенные Штаты Америки) Иностранная фирма

«Вестерн Электрик Компани Инкорпорейтед> (Соединенные Штаты Америки) Заявитель

СПОСОБ ПОДГОТОВКИ ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ

П ЕРЕД ХИМИЧ ЕСКИМ Н ИКЕЛ И РОВАН И ЕМ

Изобретение относится к области нанесения металлических покрытий химическим способом, в частности к способам подготовки покрываемой поверхности.

Известен способ подготовки поверхности кремния перед химическим никелированием путем травления в концентрированном растворе плавиковой кислоты.

Предложенный способ отличается от известного введением дополнительной операции активирования кремниевой пластины в растворе гидроокиси аммония, что улучшает сцепление покрытия с основой.

Необходимость такой операции обусловлена тем, что часто на поверхности кремниевых пластин присутствуют одновременно фосфорои боросиликаты, которые стравливаются в плавиковой кислоте с различной скоростью, и после окончания процесса травления поверхность кремния оказывается пассивной для нанесения на нее никелевого покрытия.

После травления пластины в концентрированном растворе плавиковой кислоты при комнатной температуре в течение 12 мин ее промывают и погружают на 4 — 6 мин в горячий раствор гидроокиси аммония с температурой 80 — 90 С и рН 8 — 10. Обработанную пластину высушивают на воздухе и затем повторно опускают на 3 мин в концентрированный раствор плавиковой кислоты для удаления окислов, которые могут образоваться на поверхности кремния при сушке и обработке в аммиаке. При химическом никелировании т0 кремниевой пластины, активированной в соответствии с предложенным способом, осаждает ся высококачественное никелевое покрытие, прочно сцепленное с основой.

Предмет изобретения

Способ подготовки поверхности кремния перед химическим никелированием путем травления в плавиковой кислоте, отличающийся тем, что, с целью активации поверхности для

20 улучшения сцепления покрытия с основой, осуществляют последующую обработку кремния в водном растворе гидроокиси аммония с рН 8 — 10 при температуре 80 — 90 С в течение 4 — 6 мин.

Редактор О. Филиппова

Составитель Л. Казакова

Техред T. Курилко

Корректор О. Усова

Заказ 1098/16 Изд. № 248 Тираж 780 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2