Электродуговой испаритель

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

О П И С А Н И Е оцзбево7

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

Союз Советских

Социалистических

° е еспубли» (61) Дополнительное к авт, свил-ву (92) Заивлеио 19.10.70(2)) 1484027/22-01 (Я) Д, Кл. с присоединением заявки №(23) Приорит ет (43) Опубликовано 05.07,78рюллетеиь № 25 (45} Дата опубликования описания 29.05.78

С 23 С 13/12

Государственный комитет

Совета Министров СССР ео денем изобретений н открытий (53) УДК 621.793. .1 4.002.51 (088.8 } (72) Авторы изобретения P. И. Ступак, Н. П. Атаманский, Л. И. Гетьман, Ю. И. Болотов, В. Н. Луценко, Л. П. Саблев и В, В. Усов

{7l) Заявитель (54} ЭЛЕКТРОДУГОВОЙ ИСПАРИТЕЛЬ

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме и может быть применено для получения металлических пленок на металлах и диэлектриках.

Известен электродуговой испаритель металлсв, содержащий катод из испаряемого металла, размещенный в Kîpïóñe из немагиитного материала, снаружи которого расположен соленоид, поджигающий электрод и анод, Однако известный испаритель позволяет получать только однокомпонентные пленки, для получения многокомпонентных покрытий требуется установка нескольких испарителей, катоды которых должны быть изготовлены из разных металлов, что не обеспечивает достаточной однородности покPbITHQ, 11ель изобретения - получение многокомпонентных однородных покрытий и устойчивого горении дуги, Это достигается тем, что в корпусе укреплены дополнительные катоды из металлов, входящих в состав многокомпонентного покрытия, и магнитный экран, охватывающий боковую поверхность катодов, причем

2 катоды выполнены в виде усеченного конуса с углом при вершине не менее 14, рабочей поверхностью которого служит меньшее основание.

На чертеже представлен электродуговой испари тель, общий вид.

Электродуговой испаритель состоит из катодов 1, корпуса 2 из немагнитного материала, соленоида 3, поджигаюшего влек о трода 4, анода 5, магнинтого экрана 6 и изоляторов 7. В датшом электродуговам нспарителе анодом 5 является внутренняя поверхность вакуумной камеры, катоды 1 расположены в корпусе 2 из немагнитного мата териала и изолированы от него изолятора« мк 7. Ссленоид 3 установлен снаружи корцуса. Поджигающий электрод 4 электрически связан с анодом 5. Направление потока испаряемого материала максимальной иытенсиь. рС ности перпеншткулярно рабочей поверхности катодов 1.

Чтобы направление потоков максимальной интенсивности от каждого из катодов

1 совпадали, все катоды 1 должны нахо25 диться в однородном магнитном поле, что

368807 достигается установкой магнитного экрана

6. На катодах 1, помещенных в однородное магнитное лойе, наблюдается горение дуги на боковой поверхносж катода, так как В таком ноле отсутствуют силы, Воз- . 5 вращающие катодное пятно на рабочую поверхность катода. Катодйое пятно, попадая на боковую поверхность катода, совершает

: вращательное движение. Чтобы создать силу, вынуждающую катодное пятно вернуться О на рабочую поверхность, катоду 1 придаемся форма усеченного конуса. Рабочей поверх постыл является меньшее основание конуса.

Оптимальным является конус с углом при о

4 вращении не менее 14 . При.такой форме 15 катода линии магнитного попа образуют острый угол с боковой поверхностью катода и; по принципу максимального поля, катодное пятно стремится вернуться на рабочую поверхность.

Электродугавой испаритель работает следующим образом.

Кратковременным прикосновением поджигакнпего электрода 4, электрически связанного с анодом 5, к поверхности катодов 1

25 зажигается электрическая дуга. Дуга горит в парах металла катода между рабочей поверхностью катода и внутренней.поверхностно каМеры-анода 5 при низком давлении остаточных гаэОВ В B8KpJMHoI камереа КатоднОе

36 пятно хаотически передвигается по рабочей. поверхности катода. При попадания катодного пятна на боковую поверхность катода

Ф электрическое поле дуги взаимодействует с магнитным полем соленоида 3, силовые линии которого образуют острый угол с боковой поверхностью катода, так как катод выполнен в виде конуса. Силы вэаимодейсъвия Вожратают катодное пятно на рабочую поверхность катода. Для предохранении катодов от расплавления они охлаждаются водой. Металлы катодов 1 испаряются; пары осаждаются на напыляемый объект, Так как катоды расположены близко друг к другу и находятся в равномерном магнитном поле, то направления потоков максимальной интенсивности от каждого иэ катодов 1 совпадают, обеспечивая равномерное напыление, Формула изобретения

Электродуговой испаритель металлю, содержащий катод из испаряемого металла, . размещенный в корпусе иэ немагнитного материала, снаружи которого:расположен соленоид, поджигающий. электрод и анод, о т л и ч а io m и и с o я тTеeмM, что, с пелью получения: многокомноненчных однородных покрытий и устойчивого горенйя дуги, s корпусе укреплены дополнительные като- .. ды из металлов, входящих в состав moro.компонентного покрытия, и магнитный экран, охватывающий боковую поверхность катодов, причеь катоды выполнены в виде усеченного конуса с углом при вершине не менее

14, рабочей поверхностью которого слуо жит меньшее основание.

368807 йикажа иа 6ануум

Составитель Л. Анисимова

Текред Л. Алферова Корректор И. Гоксич

Редактор Е. Месропова

Филиал ППП Патент", r, Ужгород, ул. Проектная, 4

: Заказ 3722/49 Тираж 1176 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета- Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, ЖЗБ, Раушская наб., д. 4/5