Травитель
Иллюстрации
Реферат
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
369651
Соаа Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 05.VII.1971 (№ 1674210/26-25) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 08.ll.1973. Бюллетень № 10
Дата опубликования описания 17.IV,.1973
М. Кл. Н Oll 7/50
Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
УДК 621.382.002 (088.8) Авторы изобретения
И. Н. Воронов, Л. В. Лайнер, В. М, Никитин, Е. А. Носова и Б. В. Смирнов
Государственный научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности
Заявитель
ТРАВИТЕЛЬ
Изобретение относится к методу выявления дислокационных ямок травления, широко применяемого при исследовании монокристаллов полупроводников, а также при контроле параметров готовой продукции. Дислокации являются одними из наиболее важных структурных дефектов в монокристаллах полупроводников, используемых при производстве полупроводниковых приборов.
Известно несколько травителей, выявляющих дислокации в монокристаллах кремния, из которых наиболее распространенными являются травитель Дэша и хромовый травитель.
В указанных травителях дислокационные ямки травления отчетливо выявляются на плоскостях типа (111), {110) и (112). Выявление дислокационных ямок травления на плоскости типа (100) представляет известные трудности, связанные с окислением поверхности и выявлением фигур травления недислокационного характера.
Настоящее изобретение представляет собой травитель для выявления дислокаций в образцах монокристаллического кремния, ориентированных по плоскости (100), который состоит из 7 — 9 частей плавиковой кислоты, 1 части раствора хромового ангидрида в воде и 2 частей воды.
Предлагаемый травитель для выявления дислокаций на плоскости типа (100) опробован на серийных образцах кремния, легированных Р, В, As, Sb, А! в широком диапазоне концентраций легирующей примеси.
Пример.
Образцы, ориентированные по плоскости (100), шлифуются порошком М-14 и химически полируются в смеси HF: НХОа —— 1: 2. После тщательной промывки водой производится травление образца в смеси:
10 Плавиковая кислота — 7 — 9 частей (объемн.) .
Раствор хромового ангидрида в воде—
1 часть (объемн.).
Вода — 2 части (объемн.) ..
15 При травлении используется раствор хромового ангидрида концентрацией 250—
300 г!л и плавиковая кислота концентрацией
40%. В случае использования плавиковой кислоты другой концентрации необходим соответ20 ствующий пересчет соотношения в травящей системе. Время травления составляет 15—
30 минут, а расход смеси больше 1,3 лил на 1 г кремния.
Дислокационные ямки травления на плоско25 сти (100) представляют собой квадратные или вытянутые формы травления.
Предмет изобретения
Травитель для выявления дислокаций в
30 монокристаллах кремния, содержащий плави3696й
Составитель М. Сорокина
Техред Т. Миронова
Корректоры: М. Коробова и Л. Корогоп
Редактор В. Знвтынь
Заказ 931)7 Изд. № 1249 Тираж 780 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий прн Совете Министров СССР
Москва, 3(-35,. Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2
3 ковую кислоту, хромовый ангидрид и воду, отличающийся тем, что, с целью обеспечения возможности выявления дислокаций на плоскости (l00), компоненты взяты в следующем соотношении по объему:
П авиковая кислота (40 /а) — 7 — 9 частей.
Раствор хромового ангидрида в воде (250—
300 г/л) — 1 часть.
Вода — 2 части.