Виблио:>&?н/-.

Виблио:>&?н/-.

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВзтдЕТЕДЬСТВУ

Союз Советских

Содизлистическик

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 12 17.1971 (№ 1648453/26-25) с присоединением заявки ¹

Приоритет

Опубликовано 15.11.1973. Бюллетень ¹ 11

Дата опубликования описания 17.IV,.1973

М. Кл. Н 01l 7/50

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 621.382.002 (088.8) Авторы изобретения

А. Т, Андреев, Н, А. Иванова и Г. С. Комаишко

Заявитель

ТРАВИТЕЛЬ ДЛЯ КРЕМНИЕВЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ

СТРУКТУР

Предмет изобретения

14 — 25,2

3,6 — 18

0,034 — 0,1?

37,2 — 35,6

62,6 — 62,9

0,2 — 1,5

Изобретение касается полупроводниковой электроники и может быть использовано для травления р-и переходов кремниевых - полупроводниковых структур.

Известны кислотные травители на основе смесей плавиковой и азотной кислоты.

Известен также травитель, н котором вместо азотной кислоты в качестве окислителя введен перманганат калия — KMnO<.

Однако такие правители малопригодны прп т|равлении,конструкции, содержащей различные металлические элементы (контакты, припой, компенсаторы, крнсталлодержателп и т. д.), так как в этом случае, растворяются преимущественно металлы. Прп применении подобных травителей необходима защита металлических частей конструкции от разрушения, что значительно усложняет технологический п роцecc.

Цель изобретения — осуществление травления без защиты металлических элементов конструкциии.

Для этого в состав предложенного травителя, содержащего плавиковую кислоту, введены серная кислота и бихромат калия. Компоненты травителя .взяты в следующем соотношении, вес. %:

Плавиковая кислота

Серная:кислота

Бихромат калия

Оптимальный состав травителя имеет следующие концентрации, в г-экв/л:

Плавиковая кислота 21

Серная кислота 9

Бихромат калия 0,136

Предложенный туавитель опробован для травления поверхности фаски тиристоров, содержащих никелевые или алюминиевые контакты, вольфрамовые пли молибденовые компенсаторы.

Травитель для кремниевых полупроводниковых структур с металлическими элемента- ми, содержащий плавиковую тсислоту и бихромат щелочного металла, отличающийся тем, что, с целью осуществления травления без защиты металлических элементов конструкции, он содержит серную кислоту, в качестве бихромата щелочного металла применен бихромат калия, а компоненты взяты в следующем соотношении, вес. %:

Плавиковая кислота

Серная кислота

30 Бихромат .калия