Устройство для подгонки тонкопленочных прецизионных резисторов

Устройство для подгонки тонкопленочных прецизионных резисторов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

37I62I

О П И СА Н И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Сыз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 22Л!!.1971 (№ 1638212/24-7) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 22.11.1973. Бюллетень № 12

Дата опубликования описания 17.IV,.1973

М, Кл. Н 01с 17/ОО

Комитет по делам иаобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 621 316 849(О88 8) Авторы изобретения

1О. Д. Чистяков, Л, А. Ермолаев, А. И. Мочалов, Г. A. Ф1танк....и В. А. Демьяненкт

Заявитель и

ll i т

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОДГОНКИ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ

ПРЕЦИЗИОННЫХ РЕЗИСТОРОВ

Предмет изобретения

1

Изобретение относится к технологии микроэлектроники и предназначено для использования при изготовлении тонкопленочных прецизионных резисторов.

Известно использование для подгонки тонкопленочных прецизионных резисторов лазера, снимающего часть резистивной пленки с резистора.

Применение лазера для подгонки тонкопленочных резисторов имеет следующие недостатки: дискретность изменения сопротивления, сложность в управлении процессом подгонки, низкую точность подгонки, не превышающую

0,1 %, больши е га б а риты.

Целью изобретения является упрощение процесса подгонки резисторов и повышение точности подгонки.

Указанная цель достигается тем, что в качестве устройства для механической подгонки тонкопленочных прецизионных резисторов применен микротвердомер, например, типа

ПМТ-З.

Микротвердомер представляет собой устройство, состоящее из микроскопа с предметным столиком и механизма нагр ужения алмазного резца.

Предметный столик микротвердомера позволяет закрепить на нем с помощью его npu5 жимов подгоняемый резистор или резистивную схему.

Микроскоп микротвердомера позволяет с помощью микрометрических винтов предметного столика совместить центр окуляра мик10 ротвердомера, центр соприкосновения алм азной иглы и подгоночный участок резистора.

Перемещением предметного столика с помощью микрометрических винтов можно произвести скрабирование подгоночной части ре15 зистора алмазной иглой, обспечивающее точность подгонки не ниже &0,010/0.

Применение микротвердомера, например, типа ПМТ-3, в качестве устройства для механической подгонки тонкопленочных прецизионных резисторов.