Устройство для нанесения покрытий в вакууме
Иллюстрации
Реферат
О П И С А Н И Е 374388
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Сова Советокиз
Социалиотичеокиз рвопублин
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 02.XI.1970 (№ 1490199/22-1) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 20Л11.1973. Бюллетень № 15
Дата опубликования описания 14.VI.1973
М. Кл. С 23с 13/08 комитет по делаю иаобрвтвний и открытий при Совете Миииотров
СССР
УДК 621.793.14.002.51 (088.8) Авторы
Х.M. К изобретения аушанский, К. Т. Киршфельд, A. В. Лоншаков и Д. 3. Хеймансон
Специальное конструкторское бюро вакуумных покрытий при Госплане
Латвийской ССР
Заявитель
УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ
Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме.
Известно устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее камеру, внутри которой размещен испаритель, откачную систему, пульт управления.
Однако в известном устройстве возможно попадание паров металла через щели между деталями на обратную сторону поверхности, подлежащей обработке; это ухудшает качество покрытия.
Для повышения качества покрытий внутри камеры на приводном валу коаксиально установлены барабаны с независимыми приводами, причем внутренний барабан выполнен с поворотными держателями подложек, связанными через привод с пультом управления.
На фиг. 1 изображено предлагаемое устройство, продольный разрез; на фиг. 2 — то же, поперечный разрез.
Устройство состоит из камеры 1, внутри которой размещены испаритель 2 и коаксиально установленные на приводном валу 8 барабаны 4 и 5 с независимыми приводами, причем внутренний барабан 5 выполнен с поворотными держателями подложек б, связанными через привод 7 с пультом управления (на чертеже не показан) и откачной системы (на чертеже не показана).
Держатели подложек 8 и б с подготовленными для напыления деталями закрепляют в барабанах 4 и 5, устанавливают испаритель
2, закрывают крышку камеры 1 и производят
s откачку. Во время откачки барабаны 4 и 5 с держателями подложек 8 и б приводят во вращение и производится очистка поверхности деталей при помощи тлеющего разряда, создаваемого электродом 9. После достиже10 ния рабочего разрежения в камере 1 внутренний барабан 5 устанавливают в положение, указанное на фиг. 2. Держатель подложек б внутреннего барабана при этом находится над испарителем 2 в открытом положении, 15 включается испаритель 2 и на детали, установленные на вращающемся наружном барабане 4, наносится покрытие. По истечении времени, необходимого для нанесения покрытия на детали, наружный барабан 4 останав20 ливают. Держатель подложек б закрывают и приводят во вращение внутренний барабан
5. Отключение наружного барабана 4 от приводного вала 3 и подключение внутреннего барабана 5 производят при помощи муфты
2s сцепления 10. После того, как будет нанесено покрытие на детали, установленные на внутреннем барабане 5, отключают испаритель 2, в камеру 1 впускают воздух, открывают крышку камеры и производят выгрузку
30 металлизированных деталей.
374ф88
П р ед м ет из обретвния
Устройство для нанесения покрытий в вакууме, седержащее камеру, внутри которой размещен испаритель, откачную систему и пульт управления, отличающееся тем, что, с цель о поэыщеюия качества покрытий, внутри камеры на приаодном валу коакоиально установлены барабаны с независимыми приводами, причем внутренний барабан выполнен с
S поворотными держателями подложек, связанными через привод с пультом управления.
374388 Риг, 1
Редактор Л. Лаврова
Заказ 1663/13 Изд. Ке 415 Тираж 826 Подписное
11НИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, SK-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2
Составитель И. Резник
Техред Л. Грачева
Корректоры: Е. Давыдкина и Н. Луковцева