Всесоюзная \

Всесоюзная \

Реферат

 

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено ЗО.Xll.1970 (Ф. 1605665/26-25) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 23.111.1973. бюллетень J¹ 16

Дата опубликования описания 28Х.1973

M. Кл. Н Olj 9/02

Н Oij 1!3Ю

Номитет по делам изовретеиий и открытий при Совете Ыииистрев

СССР

УДК 621.:385.032.212.2 (088.8) Авторы изобретения

А. П. Коржавый, С. И. Файфер, С. М. )Кданов, В. Ф. Арцыхович

E. А. Трофимов и H. Н. Кунец

Заявитель.с ..

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ХОЛОДНЫХ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ

КАТОДОВ

Изобретение относится к электронной технике, в частности к технике изготовления холодных катодов для газоразрядных приборов с инертным наполнением, например оптических квантовых генераторов. 5

В газоразрядных приборах в качестве холодных катодов используют металлические катоды, изготовленные из алюминия, железа, никеля, тантала, молибдена и других металлов или их сплавов. 10

Известны способы повышения эксплуатационной стойкости металлических холодных катодов, которые заключаются в предварительном окислении рабочей поверхности катодов путем термического окисления в кислородсодержащей среде.

Однако известный способ не обеспечивает достаточной стойкости катодов при повышенных токовых нагрузках. 20

Цель изобретения — повышение устойчивости холодного катода в процессе его эксплуатации при повышенных удельных токовых нагрузках.

Согласно изобретению поставленная цельдо- 25 стигается путем окисления катодов в среде кислорода пониженного давления 0,1 в

30 мм рт. ст. при одновременном наложении внешнего высокочастотного электромагнитного поля. 30

Внешнее высокочастотное электромагнитное поле в выбранном интервале давлений кислорода воздействует на процесс окисления таким образом, что уже на первоначальных стадиях процесса на поверхности окисляемого при контролируемой температуре металла или сплава образуется пленка оптимальной структуры, что ооуславливает ее ценные защитные свойства: высокую электропроводность и повышенную стойкость к катодному распылению в условиях аномального тлеющего разряда.

Конкретные параметры процесса окисления: давление кислорода, температура окисления, время выдержки при температуре окисления, частота внешнего электромагнитного поля и. т. д.,— определяются природой металлического катода и конструктивными особенностями изделия.

Пример изготовления по предлагаемому способу холодных катодов газовых ОКГ.

Полые цилиндрические катоды изготовляют из алюминия, бериллия, магния и сплавов на их основе. После механической и технохимической ооработки образцы загружают в стеклянпыс или кварцевые трубы, обезгажнвают в вакууме и дополнительно очищают разрядом в среде неона. Затем производят напуск кислорода до давления 3 — 5 мм рт. ст. и проводят окисление во внешнем высокочастотном электромагнитном поле. Для катодов, изготовлен 375709

Предмет изобретения

Составитель Г. Жукова

Редактор И. Орлова Техред Е, борисова, Корректор О. Тгприна

Заказ 1441/19 Изд, № 1345 Ти,раж 780 Подписное

ЦНИИПИ, Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 ных из алюминия, магния и их сплавов. температуру окисления выбирают в пределах

420 — 460 С, а для бериллиевых катодов впределах 550 — 770 С. Время выдержки при температуре окисления составляет 30 — 60 мин.

Частоту колебаний внешнего электромагнитного поля, в котором производят окисление катодов, изменяют в зависимости от типа катодов в пределах от 0,5 — 1 Мгц, После окисления катоды монтируют в газоразрядные при; боры. Режимы последующей обработки и тренировки катодов не отличаются от общепринятых для холодных катодов.

Испытания холодных катодов, изготовленных по предлагаемому способу, в газоразрядных приборах с наполнением гелийнеоновой смесью (с соотношением 5: 1 и 10: 1) при давлении 3 — 5 мм рт. ст. показали, что срок

4. службы катодов при плотности тока 0,7 ма/см составляет не менее 1100 час. Катоды, изготовленные известным способом, обеспечивают в указанных условиях срок службы не более

50 †1 час.

Способ изготовления холодных металличе10 ских катодов для газоразрядных приборов, преимущественно с инертным наполнением, путем их термического окисления в кислородсодержащей среде, отлг чающийся тем, что, с целью увеличения срока службы катодов при

1S повышенных токовых нагрузках, окисление катодов производят при давлении кислорода

0,1 — 30 мм рт. ст. в высокочастотном электромагнитном поле.