Механизм перемещения ионов для ускорителя заряженных частиц

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ »> 3760 38

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 30.07.71 (21) 1689004/26-25 с присоединением заявки № (32) Приоритет

Опубликовано 05.06.75. Бюллетень № 21

Дата опубликования описания 04.09.75 (51) М. Кл. Н 05h i/00

Государственный хомитст

Совета Министрав СССР (53) УДК 621,384.6 (088.8) по делгги изобретений н открытий (72) Авторы изобретения

П. В. Богданов и Я. И. Яковлев (71) Заявитель (54) МЕХАНИЗМ ПЕРЕМЕЩЕНИЯ ИСТОЧНИКА ИОНОВ

ДЛЯ УСКОРИТЕЛЯ ЗАРЯ)КЕННЫХ ЧАСТИЦ

Изобретение относится к ускорительной технике.

Механизм перемещения ионного источника обеспечивает установку головки ионного источника в любой точке области перемещения источника. Пределы перемещения определяются типом ускоряемых частиц, Точность установки головки, эффективность и надежность работы в большой степени зависят от конструкции механизма перемещения, Известны механизмы перемещения, в которых использованы два вставленных один в другой эксцентрика с независимыми приводами; на внутреннем эксцентрике укреплена головка источника. Вращением обоих эксцентриков можно установить головку источника в нужную точку области перемещения.

Однако при вращении эксцентриков нарушается азимутальная ориентация щели головки источника, поэтому ориентация щели осуществляется с помощью дополнительного привода, что требует дополнительной затраты времени на ориентацию; кроме того, в известном механизме возможно попадание масла в ускорительную камеру из скользящих резиновых уплотнений подвижных частей механизма.

Цель изобретения — упрощение конструкции и повышение надежности работы чеханизма перемещения.

Цель достигается применением сильфонного соединения штока, несущего головку, с ускорительной камерой.

На чертеже дан разрез предлагаемого механизма перемещения.

Механизм содержит головку 1 источника, шток 2, сильфон 3, корпус 4, подшипники 5, подвижный корпус 6, внешний эксцентрик 7, корпус 8 всего механизма перемещения, при10 вод 9 внутреннего эксцентрика, привод 10 внешнего эксцентрика, балку магнита 11, крышку вакуумной камеры 12.

Шток 2, на котором укреплена головка 1 источника, неподвижно закреплен в корпусс

15 4, установленном на подшипниках 5 внутри подвижного корпуса 6 эксцентрикового механизма, Корпус 4 герметично соединен с ускорительной камерой сильфоном 3, который удерживает его от вращения, сохраняя тем

20 самым азимутальную ориентацию штока и щели головки, а также позволяет перемещать головку источника поперек и вдоль оси источника без нарушения вакуума. Поворот внешнего эксцентрика 7 относительно корпуса 8

25 осуществляется приводом 9, поворот внутреннего эксцентрика 6 относительно внешнего эксцентрика 7 — приводом 10.

Предлагаемый механизм перемещения имеет более простую конструкцию, так как отпа30 дает необходимость азимутальной ориентации

376038

Составитель В. Ким

Техред Е. Подурушина

Корректоры: А. Николаева и Л. Корогод

Редактор И. Орлова

Заказ 2143/5 Изд. № 795 Тираж 869 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 щели головки (т. е. упразднен один привод с системой индикации), и более надежен в эксплуатации, так как в нем отсутствуют скользящие вакуумные уплотнения подвижных элементов.

Предмет изобретения .Механизм перемещения источника ионов для ускорителя заряженных частиц, состоящий из неподвижного корпуса, внешнего эксцентрика, вращающегося относительно неподвижного корпуса и имеющего смещенное относительно оси вращения эксцентрика отверстие, внутреннего эксцентрика, закрепленного в этом отверстии и вращающегося вокруг оси отверстия, штока, несущего источник ионов и герметично состыкованного с ускорительной

5 камерой, подвижного корпуса, в котором закреплен шток, перемещающегося относительно внутреннего эксцентрика, отличающийс я тем, что, с целью упрощения конструкции и повышения надежности работы механизма, 1О шток одним концом соединен с ускорительной камерой с помощью сильфона, другим закреплен на подшипниках в подвижном корпусе механизма перемещения.