Установка для получения покрытий из газовой фазы

Установка для получения покрытий из газовой фазы

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

378558

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства ¹â€”

Заявлено 23.11.1970 (№ 1407558/22 1) с присоединением заявки №вЂ”

Приоритет—

Опубликовано 18.1Ч.1973. Бюллетень № 19

Дата опубликования описания 13Х11.1973

М. Кл. С 23с 11/00

Комитет по делам изобретений н открытий при Совете Министров

СССР

УДК 621.793.06(088.8) Авторы из о бр ете н ия

В. С. Макеев, А. Н. Пилюгин, А. И. Тютюнников, В. Ф. Функе и В. А. Шевченко

Заявитель

УСТАНОВКА ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ПОКРЫТИЙ

ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ

Изобретение относится к нанесению покрытий из газовой фазы.

Известна установка для получения покрытий из газовой фазы, содержащая термостатированный контур, имеющий зону осаждения с расположенными в ней обогреваемыми подложками и зону хлорирования.

Однако, в известной установке невысокая производительность процесса.

Цель предлагаемого изобретения — создать такую установку, в которой возможно стабилизировать процесс осаждения и повысить производительность.

Это достигается тем, что термостатированный контур снабжен зоной хлоргидрирования углерода с расположенными в ней обогреваемыми вращающимися полочками и холодильником, размещенным между зонами хлориоования и хлоргидрирования, и выполнен в зонах хлорирования, хлоргидрирования и осаждения с сечениями, удовлетворяющими условию:

F хлоргидрирования ) F хлорирования >

F осаждения.

На чертеже изображен общий вид установки.

Установка состоит из термостатированного контура, имеющего зону 1 осаждения с расположенными в ней обогреваемыми подложками 2, зону 8 хлорирования углерода с расположенными в ней обогреваемыми вращающимися полочками 4, холодильника 5, размещенного между зоной 8 хлорирования и зоной 6 хлоргидрирова ния, и вентилятора 7, Термостатированный контур выполнен в зонах хлорирования, хлоргидрирования и осаждения с сечениями, удовлетворяющими условию:

F хлоргидрирования ) F хлорирования >

F осаждения, В зоны хлорирования 8 и хлоргидрировапия 6 помещают порошкообразные исходные материалы, например тугоплавкий металл и его соединения, и углерод или его соединения, а в зоне осаждения 1 при помощи контактных 5 стержней 8 закрепляют подложки 2. Всю установку герметизируют, вакуумируют, а затем заполняют газообразными реагентами, Включают нагрев подложек и обогрев всего контура, после чего включается вращение вентилятора 7 и полочек 4. Лопастное колесо вентилятора приводится во вращение от привода типа ПМ У5-MI с бесступенчатым регулированием чисел оборотов в диапазоне от 300 до

3000 об/мин, что позволяет осуществить опт; мальные скорости парогазовой смеси внутри установки. От аналогичного привода сообщается вращение к полочкам 4, в зонах 8 и б. При работе установки в зонах 3 и б образуются карбидообразные компоненты, которые

ЗО затем при разложении на нагретой поверхнос378558

Составитель A. Смирнова

Техред Л. Грачева Корректор Л. Чуркина

Редактор А, Морозова

Заказ 886/1086 Изд. ¹ 469 Тираж 826 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушскаи наб„д. 4/5

Тип. Харьк. фил. пред. «Патент» ти подложки в зоне осаждения образуют тугоплавкое соединение.

;П,р е д м е т и з о б р е т е н и я

Установка для получения покрытий из газовой фазы, содержащая термостатированный контур, имеющий зону осаждения с расположенными в ней обогреваемыми подложками и зону хлорирования, отличающаяся тем, что, с целью стабилизации процесса и повышения производительности, термостатированный KOHтур снабжен зоной хлоргидрирования углерода с расположенными в ней обогреваемыми вращающимися полочками и холодильником, размещенным между зонами хлорирования и хлоргидрирования, и выполнен в зонах хлорирования, хлоргидрирования осаждения с сечениями, удовлетворяющими условию:

F хлоргидрирования ) F хлорирования > Р осаждения.