Г
Иллюстрации
Реферат
(п1 380155
ОП ИСАН И Е
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 07.12.70 (21) 1601649/22-1 с присоединением заявки №вЂ” (32) Приоритет
Опубликовано 15.12.74. Бюллетень № 46
Дата опубликования описания 11.02.75 (51) М. Кл. С 23с 17/00
Государстввиимк комитет
Совета Мииистров СССР ло делам изобретеиий и открмтий (53) УДК 621.793.14 (088.8) (72) Авторы изобретения
Л. С. Палатник, В. И. Белозерцева, С. А. Бутко и В. С. Черный (71) Заявитель
Харьковский ордена Трудового Красного Знамени государственный университет им. А. М. Горького
L !
1 (54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК В ВАКУУМЕ
Изобретение относится к способам получения тонких пленок в вакууме, в частности пленок сурьмы и многокомпонентных веществ, парообразная фаза которых имеет сложный состав.
Известен способ получения тонких пленок в вакууме путем осаждения из парообразной фазы, сформированной в пучок.
Однако известный способ не может использоваться для осаждения пленок элементов,например сурьмы и многокомпонентных веществ, паровая фаза которых имеет сложный состав, т. е. содержит полиатомные молекулы.
Предложенный способ позволяет получать покрытие элементов и многокомпонентных веществ из паров, содержащих полиатомные молекулы.
Способ отличается тем, что ионизацию парообразной фазы осуществляют электронами, энергия которых обеспечивает получение регулируемых по составу пучков.
При этом энергию электронов выбирают в соответствии с потенциалами ионизации полиатомных молекул и энергией диссоциации их под действием электронного удара на молекулы (атомы) меньших масс для изменения относительных количеств ионных составляющих пучков.
Способ состоит в том, что тонкие пленки получают путем осаждения в вакууме из ионизированной парообразной фазы, сформированной в пучки, регулируемые по составу. Ионизацию парообразной фазы осуществляют электронами, энергию которых выбирают в соответствии с потенциалами ионпзацип полиатомных молекул и энергией диссоцпации их под действием электронного удара на молекулы (атомы) меньших масс для изменения относительных количеств ионных составляющих пуч10 ко в.
При осуществлении способа, варьируя энергшо ионизирующих электронов, можно изменять соотношение ионных видов конденсируемой системы за счет вклада от днссоциативной
15 ионизации.
П р и и е р. Прп осаждении пленок сурьмы на подложке из свенсесколотых на воздухе монокристаллов хлористого калия, подогретых до 95 — 110 С в парообразной фазе, содержа20 щей полиатомные молекулы, наряду с процессами первичной ионизации (например, для сурьмы, пар которой над твердой сурьмой состоит в основном из Sb„ Sb: и Sb) идут процессы диссоциации под действием электронно25 го удара. Вклад диссоциативной ионизации в ионные токи соответствующих видов меньших масс очень велик при увеличении энергии ионизирующих элементов. При уменьшении энергии электронов до потенциалов ионизации
Зо полиатомных молекул, когда процессы диссо380155
Составитель Е. Кубасова
Техред 3. Тараненко
Корректор А. Дзесова
Редактор Е. Караулова
Заказ 200/1 Изд. ¹ 1990 Тираж 875 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
Москва, K-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2 циации уменьшены, можно осаждать ионизированные пучки, соответствующие по составу истинной парообразной фазе.
Предмет изобретения
Способ получения тонких пленок в вакууме путем осаждения из парообразной фазы, сформированной в пучок, отличающийся тем, что, с целью получения покрытий элементов и многокомпонентных веществ из паров, содер>кагцих полиатомные молекулы, осуществляют ионизацию парообразной фазы электронами, энергия которых обеспечивает получение регулируемых по составу пучков, причем энер5 гию электронов выбирают в соответствии с потенциалами ионизации полиатомных молекул и энергией диссоциацпи их под действием электронного удар а на молекулы (атомы) меньших масс для изменения относительных
10 количеств ионных составляющих пучков.