Эмиттер горячих электронов
Патент 383107
Авторы
Классы МПК
Эмиттер горячих электронов
Иллюстрации
Реферат
ОП ИСАНИ Е
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
383107
Союз Советских
Социалистические
Республик
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”
М. Кл. Н Olj 1/30
Заявлено 17.XII.1963 (№ 871294/26-25) с присоединением заявки №вЂ”
Приоритет—
Опубликовано 23. т/Л973. Бюллетень М 23
Дата опубзри кования описания 13 т/Ш.1973
Комитет по делам изобретений и открытий лри Совете Министров
УДК 621.385.032.212 (088.8) Авторы изобретения
М. И. Елинсон, А, Г. )Кдан и Г. А. Кудинцева
Институт радиотехники и электроники АН СССР
Заявитель
ЭМИТТЕР ГОРЯЧИХ ЭЛЕКТРОИОВ
Изобретение предназначено для использо вания в электровакуумных приборах.
Известны холодные катоды на основе полупроводниковых монокристаллов, в которых эмиссия обеспечивается разогревом электронного газа при приложении напряжения в направлении, перпендикулярном к выходу электронов в вакууме (например, эмиттеры с р— п-переходом) .
Предлагаемый эмиттер обладает повышенной плотностью эмиссии. Для этого он выполнен из полупроводниковой пленки двуокиси олова (SnO ), нанесенной на диэлектрическую подложку, например кварц.
Для получения эмиттирующей области на пленке создается конфигурация, представляющая собой две области, которые соединены перешейком. Размеры этих частей пленки подбираются так, чтобы локализация приложенного к пленке поля происходила в центре узкого перешейка.
Пленку прогревают током накала до 1000—
1100 C (100 — 200 в, -60 ма). В процессе тепловой обработки (формовки) наблюдается стя гивание теплового свечения к середине перешейка; прогрев выключается, когда видимая протяженность свечения достигнет долей миллиметра. В результате прогрева на пленке
SIIO> создается локальная (шириной 1 — 2 лкя) область с повышенным сопротивлением, преимущественно перпендикулярная к вектору напряженности электрического поля.
При приложении к формованному сло|о напряжения и прп наличии отсасывающего напряжения па аноде наблюдается эмиссия электронов из локальной высокоомной области, причем эмиссия сопровождается люмпнес10 ценцией эмиттнрующей области.
Пленочный характер эмиссии позволяет применять катод как в обычных электровакуумных IlpHoopBx, так и в микромпниатюрных вак умных устройствах.
Предмет изобретения
Эмиттер горячих электронов на основе полупроводникового материала, работающий при приложении поперечного электрического поля, отлачаюшпйся тем, что, с целью повы шения плотности тока эмиссии и увеличения эффективности, он выполнен из пленки двуокиси олова, нанесенной на диэлектрическую подложку и имеющей локальную область с повышенным сопротивлением, пересекающую пленку преимущественно по нормали к вектору напряженности электрического поля.