Способ измерения интенсивности потока паров металла в вакууме

Способ измерения интенсивности потока паров металла в вакууме

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

383759

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Соеетснит

Сониалистическиа

Республин

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

М.Кл. С 23с 13/00

Заявлено 24. I I I.1970 (№ 1419999/26-25) с присоединением заявки №вЂ”

Пр,нор итетв

Опубликовано 23.Ч.1973 r. Бюллетень № 24

Дата опубликования описания 17 Ч111.1973.

Комитет по делам изобретений и открытий

;,ри Соеете Министров

СССР

УДК 621.523.001.5 (088.8) Авторы изобретения

Заявитель

И. Л. Ройх, Д. М. Рафалович и А. А. Модзелевский

Одесский технологический институт пищевой промышленности им. М. В. Ломоносова

СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ИНТЕНСИВНОСТИ ПОТОКА

ПАРОВ МЕТАЛЛА В ВАКУУМЕ

Изобретение относится к области измерения интенсивности потока паров металла в вакууме и может быть применено при нанесении различных металлических покрытий в вакууме.

Известен ряд методов измерения интенсивности потока паров металла и скорости его конденсации в вакууме. Чаще всего скорость конденсации определяют по изменению частоты колебаний кварцевого резонатора, на поверхности которого конденсируется испаряемый в вакууме металл. Этот способ позволяет определять толщину и скорость осаждения тонких металлических пленок. Однако при высоких скоростях конденсации работа кварцевого резонатора становится нестабильной нз-за повышения его температуры. При этом нарушается линейная зависимость между изменением частоты резонатора и массой осажденного металла.

Предлагаемый способ позволяет расширить диапазон измерений скорости осаждения паров металлов в вакууме.

Эта цель достигается тем, что интенсивность потока паров металла определяют по критической температуре, при которой и ниже которой происходит осаждение металла на диэлектрическую прогреваемую поверхность.

Предлагаемый способ основан на том, что наибольшая (критическая) температура, при которой еще происходит конденсация металла, зависит от свойств конденсирующегося металла, материала и состояния поверхности подложки, а также от интенсивности молеку5 лярного потока паров металла.

Процесс измерения заключается в том,. что осажденпе металла начинают при температуре диэлектрической подложки, заведомо превышающей значение критической темпераlo туры на 100 — 150 С. Затем постепенно понижают температуру подложки до появления сплошной металлической пленки между электродами, установленными на диэлектрической поверхности подложки. Этот момент фикси15 руется появлением тока в электрической цепи, что означает достижение критической температурыы.

Предмет изобретения

Способ измерения интенсивности потока паров металла в вакууме путем фиксации начала осаждения пленки металла на нагреваемую диэлектрическую пластину, от гичаюигийся тем, что, с целью расширения диапазона измерений, в пары металла вводят диэлектрическую пластину при температуре выше температуры осаждения, охлаждают пластину до

3Q температуры осаждения, по которой и определяют интенсивность потока паров металла..