Способ получения контактных выводов

Способ получения контактных выводов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Газ

ОП И САН Е 384160

ИЗОБРЕТЕНИЯ 1 ..;ИОЗ ОИ., Д л

Союз Советскив

Социалистическив

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства №

М. Кл. H 011 7i00

Заявлено 17.V,1971 (№ 1659888i26-25) с присоединением заявки ¹

Приоритет

Опубликовано 23.V.1973. Бюллетень ¹ 24

Дата опубликования описания 6.VI I I.1973

Ксмитвт по долам ивобрвтвний и открытий ори Соввтв Министров

СССР

УДК 621.982,002(088.8) Авторы изобретения

К. В. Лепетило, И. П. Янович и Е. Г. Алейников

Заявитель

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ КОНТАКТНЫХ ВЫВОДОВ

Предмет изобретения

Изобретение относится к ооласти производства полупроводниковых приборов, а именно, к способам получения выводов.

Известен способ получения контактных выводов из металлическои заготовки, включающий операции фотолитографической обработки, тpаВлени51 мезкконT3ктных перемычек до разделения выводов, формирования В!.!иодов и механическую обработку.

Однако известный способ не позволяет форм и1зОВать конта! тные ВыВОды k13 заготовке с целью пр!!Дани!1 им неооходимой геомет1з !чeской формы до операции травления, а при форс!Ировапии и механической обработке контактных выводов теряется точность их взаимного расположения.

Цель изобретения — повышение точности изготовления контактных выводов.

Цель достигается тем, что после фотолитографической обработки заготовку травят на глубину, меньшую ее толщины и,равную заданной толщине контактных выводов, формируют выводы, а после механической обработки травят заготовку с противоположной стороны ДО 1зазДеления 1 .QkltT31

Операции осуществляют в следующей последователы!ости.

На плоскую заготовку наносят фоторезист, экспонируют рисунок контактных выводов и производят травление ме>кконтактных перемы Iel на глубину, меньшую толщины плоской заготовки и равную заданной толщине контактных Выьодов — îòîâîãî инструмента. После травления и снятия защитного слоя фоторе5 зиста осуществляют формирование выводов, п|зидаВая пм неооходимую геомет|зичес! .ую форму, осуществляют механическую обработку, нап1знме1з по IIIpoBIQ пове|зхности контактных вьшодоь с протравленной стороны, а раз10 деление контактных Выводов производят травлением Всей поверхности обратной стороны заготовки.

C II O O0 0 II G. I Х iI Е I I II Ii Ii 0 I I T 3 КT H bl I В bl II ОД 0 В И 3 металлической заготовки, включающий операции фотолнтог1зафичес! Ой Обр300ткн, траВле20 ния межконтактных перемычек до разделения выводов, формирования выводов н механическую обработку, от.шчающнйся тем, что, с целью повышения точности изготовления контактных выводов, после фотолитографиче25 ской обработки травят заготовку на глубину, х!еньн1у10 ес толщины и рав:1у!о за;!анно!! т.з1щине контактш„х Выводов, формируют BblI30ды, а после механической обработки травят заготовку с противоположной стороны до раз30 деления контак i iii ix выводов.