Дозатор энергии оптического излучения
Патент 387225
Авторы
Классы МПК
Дозатор энергии оптического излучения
Иллюстрации
Реферат
ОП ИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
387225
Союз Советских
Социалистинескит
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 23.1Ч.1970 (№ 1430564/26-25) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 21.VI.1973. Бюллетень № 27
Дата опубликования описания 4.Х.1973
М. Кл. G ОЦ 1/26
Государственный комитет
Совета Министров СССР ов делам иеооретений и открытий
"-УДК 771.44.535.24 (088.8) Авторы изобретения
- Р,-В.-Грудииский,-А;-П. Сироткин и А. В. Ярош
Заявитель
1 ..ДОЗАТОР ЭНЕРГИИ ОПТИЧЕСКОГО ИЗЛУЧЕНИЯ
Изобретение относится к области фототехники и литографии.
Известный дозатор энергии оптического излучения, содержащий фотоэлектрический преобразователь, усилитель, нуль-орган, делитель напряжения и измерительный прибор, обладает малым быстродействием .и низкой точностью, а также ненадежен в работе.
В предлагаемый дозатор, с целью повышения быстродействия и точности измерения, 10 введен компенсирующий транзистор, база которого соединена с делителем напряжения, а измерительный прибор включен между выходом нуль-органа и эмиттером компенсирующего транзистора.
На чертеже представлена схема предлагаемого устройства.
Дозатор содержит фотоэлектрический преобразователь 1, который состоит из фотоэлемента 2, зарядного конденсатора 8, реле 4 с 20 контактами 5 и б; усилитель 7, собранный на лампе 8; нуль-орган 9, собранный на транзисторах 10 и 11; компенсирующий транзистор
12; делитель 18 напряжения, содержащий потенциометр 14; измерительный прибор 15.. 25
Устройство работает следующим образом.
Запускающий импульс переключает контакты 5,и б реле 4,в нижнее положение. Ток фотоэлемента 2 заряжает конденсатор 5, потенциал заряда конденсатора увеличивается ЗО пропорционально величине энергии излучения, поступающей на фотокатод фотоэлемента.. - тот потенциал подается посредством катодного повторителя на один из входов нуль-органа 9, .на второй вход которого подается потенциал средней точки потенциометра 14 делителя 18. По достижении напряжения на конденсаторе 5 потенциала средней точки потенциометра делителя сигнал с выхода нуль-органа прекращается. Цикл дозации завершается. Длительность доз ирования определяется длительностью импульса с выхода нуль-органа, который возникает в момент прихода запускающего импульса на контактах б реле 4.
Величина дозы энергии излучения задается регулированием потенциометра 14. Дозу энергии и ее остаток (энергии излучения, необходимой для завершения дозирования) в процессе дозации измеряют с помощью измерительного прибора 15.
Предлагаемое устройство может найти применение в электронной промышленности при производстве интегральных схем методом фотолитографии, в полиграфической промышленности при фоторепродукционных работах, а также в других областях техники, где требуется точное дозирование энергиями излучения оптического диапазона.
387225 целью повышения быстродействия .и точности измерения, в дозатор введен компенсирующий транзистор, база которого соединена с делителем напряжения, а измерительный прибор
S включен между выходом нуль-органа и эмиттером;компенсирующего транзистора.
Предмет изобретения
Составитель Т. Дозоров
Техред Л. Богданова
Корректоры: Л. Царькова и E. Хмелева
Редактор А. Батыгин
Заказ 2636/7 Изд. № 741 Тираж 755 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапуноьа, 2
Дозатор энергии оптического излучения, содержащий измерительный .прибор, делитель напряжения и фотоэлектрический преобразователь, соединенный со входом нуль-органа через усилитель, отличающийся тем, что, с
1
l о1
1